二次电子发射能谱及其对微放电阈值的影响研究
| 摘要 | 第2-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 二次电子发射的发展历史及研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 微放电的发展历史及研究现状 | 第11-13页 |
| 1.4 本论文的结构及主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 微放电基本理论 | 第15-33页 |
| 2.1 二次电子发射 | 第15-27页 |
| 2.1.1 二次电子发射概述 | 第15-16页 |
| 2.1.2 二次电子发射系数 | 第16-18页 |
| 2.1.3 初始电子入射角度 | 第18-19页 |
| 2.1.4 二次电子出射角度 | 第19-23页 |
| 2.1.5 二次电子发射能谱 | 第23-25页 |
| 2.1.6 二次电子发射特性测试原理和方法 | 第25-27页 |
| 2.2 微放电 | 第27-32页 |
| 2.2.1 微放电概述 | 第27-28页 |
| 2.2.2 二次电子发射与微放电之间的关系 | 第28-29页 |
| 2.2.3 微放电测试原理和方法 | 第29-32页 |
| 2.3 小结 | 第32-33页 |
| 第三章 二次电子发射能谱的改进模型 | 第33-49页 |
| 3.1 Furman模型 | 第33-39页 |
| 3.1.1 模型简介 | 第33-36页 |
| 3.1.2 蒙特卡洛模拟 | 第36-38页 |
| 3.1.3 曲线拟合 | 第38-39页 |
| 3.2 C-E模型 | 第39-41页 |
| 3.2.1 模型简介 | 第39-40页 |
| 3.2.2 曲线拟合 | 第40-41页 |
| 3.3 改进模型 | 第41-47页 |
| 3.3.1 模型简介 | 第42-44页 |
| 3.3.2 蒙特卡洛模拟 | 第44-46页 |
| 3.3.3 曲线拟合 | 第46-47页 |
| 3.4 小结 | 第47-49页 |
| 第四章 二次电子发射能谱与微放电阈值的关系 | 第49-71页 |
| 4.1 理论分析 | 第49-52页 |
| 4.1.1 粒子轨迹 | 第49-51页 |
| 4.1.2 阈值电压 | 第51-52页 |
| 4.2 二次电子发射能谱对微放电阈值的影响 | 第52-63页 |
| 4.2.1 模型设计 | 第52-54页 |
| 4.2.2 仿真软件介绍 | 第54-60页 |
| 4.2.3 基于微放电联合仿真软件的仿真过程 | 第60-63页 |
| 4.3 实验验证 | 第63-70页 |
| 4.3.1 硬件加工与测试 | 第63-66页 |
| 4.3.2 实验与仿真 | 第66-70页 |
| 4.4 小结 | 第70-71页 |
| 第五章 微放电过程中的电子累积效应 | 第71-93页 |
| 5.1 初始模型推导 | 第71-80页 |
| 5.1.1 模型建立 | 第71-73页 |
| 5.1.2 多层介质模型计算分析 | 第73-76页 |
| 5.1.3 阻抗变换器计算分析 | 第76-78页 |
| 5.1.4 仿真结果 | 第78-80页 |
| 5.2 模型修正 | 第80-91页 |
| 5.2.1 考虑碰撞因素的模型 | 第80-82页 |
| 5.2.2 碰撞频率推导 | 第82-85页 |
| 5.2.3 碰撞频率分析 | 第85-88页 |
| 5.2.4 碰撞频率对传输特性的影响 | 第88-91页 |
| 5.3 小结 | 第91-93页 |
| 第六章 总结与展望 | 第93-95页 |
| 6.1 总结 | 第93-94页 |
| 6.2 展望 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-100页 |
| 致谢 | 第100-102页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第102-104页 |
| 论文详细摘要 | 第104-112页 |
