| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 湿度相关 | 第10-11页 |
| 1.2 湿度传感器的分类 | 第11-12页 |
| 1.3 湿度传感器的特性参数 | 第12-13页 |
| 1.4 湿度传感器的历史 | 第13-16页 |
| 1.5 湿度传感器的发展和现状 | 第16-17页 |
| 1.6 金属有机骨架材料 | 第17-19页 |
| 1.6.1 金属有机骨架材料的应用 | 第17-18页 |
| 1.6.2 均苯三羧酸铜 | 第18-19页 |
| 1.7 本论文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 材料的制备与器件的制作 | 第20-29页 |
| 2.1 合成方法介绍 | 第20-21页 |
| 2.2 实验药品及器材 | 第21-22页 |
| 2.3 实验步骤 | 第22-23页 |
| 2.3.1 均苯三羧酸铜的制备 | 第22-23页 |
| 2.3.2 掺杂 | 第23页 |
| 2.4 材料形貌的表征 | 第23-26页 |
| 2.4.1 XRD 表征 | 第23-24页 |
| 2.4.2 SEM 表征 | 第24-26页 |
| 2.5 器件的制作 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 湿敏性能测试 | 第29-45页 |
| 3.1 测试仪介绍 | 第29-30页 |
| 3.2 饱和盐溶液的配置 | 第30页 |
| 3.3 均苯三羧酸铜器件的测试 | 第30-32页 |
| 3.4 5%质量比的氯化锂掺杂的器件的测试 | 第32页 |
| 3.5 10%质量比的氯化锂掺杂的器件的测试 | 第32-35页 |
| 3.5.1 频率特性 | 第32-34页 |
| 3.5.2 湿滞特性 | 第34页 |
| 3.5.3 电压特性 | 第34-35页 |
| 3.5.4 响应恢复时间 | 第35页 |
| 3.6 20%质量比的氯化锂掺杂的器件的测试 | 第35-39页 |
| 3.6.1 频率特性 | 第35-37页 |
| 3.6.2 湿滞特性 | 第37-38页 |
| 3.6.3 电压特性 | 第38页 |
| 3.6.4 响应恢复时间 | 第38-39页 |
| 3.7 30%质量比的氯化锂掺杂的器件的测试 | 第39-43页 |
| 3.7.1 频率特性 | 第39-41页 |
| 3.7.2 湿滞特性 | 第41页 |
| 3.7.3 电压特性 | 第41-42页 |
| 3.7.4 响应恢复时间 | 第42-43页 |
| 3.8 不同质量比的氯化锂掺杂的器件性能对比 | 第43-44页 |
| 3.9 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 湿敏材料的感湿原理 | 第45-48页 |
| 4.1 不同样式湿度传感器原理分析 | 第45页 |
| 4.2 感湿原理的一般分析法 | 第45-46页 |
| 4.3 20%氯化锂掺杂的均苯三羧酸铜器件的感湿机理分析 | 第46-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 作者简介 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |