基于准LIGA技术制作微齿轮的研究
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 第1章 绪论 | 第6-16页 |
| 1.1 引言 | 第6页 |
| 1.2 LIGA技术简介 | 第6-9页 |
| 1.2.1 LIGA 技术的工艺特点 | 第7-8页 |
| 1.2.2 LIGA 技术的优点 | 第8-9页 |
| 1.2.3 LIGA 技术应用前景 | 第9页 |
| 1.3 准 LIGA 技术简介 | 第9-15页 |
| 1.3.1 准 LIGA 技术的现状 | 第9-10页 |
| 1.3.2 准 LIGA 技术的工艺难点 | 第10-12页 |
| 1.3.3 准 LIGA 技术的应用 | 第12-14页 |
| 1.3.4 准 LIGA 技术的展望 | 第14-15页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 准LIGA的主要技术原理 | 第16-33页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 物理和化学覆层技术 | 第16-21页 |
| 2.2.1 溅射工艺 | 第17-18页 |
| 2.2.2 CVD 工艺 | 第18-20页 |
| 2.2.3 氧化工艺 | 第20-21页 |
| 2.3 光刻工艺 | 第21-24页 |
| 2.3.1 掩模的生成 | 第23页 |
| 2.3.2 投影法 | 第23-24页 |
| 2.4 等离子刻蚀 | 第24-29页 |
| 2.4.1 刻蚀设备的刻蚀机理 | 第24-26页 |
| 2.4.2 制造精细图形的途径 | 第26-28页 |
| 2.4.3 减少刻蚀损伤的途径 | 第28-29页 |
| 2.5 电镀沉积 | 第29-30页 |
| 2.6 牺牲层技术 | 第30-32页 |
| 2.7 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 利用多层光刻胶工艺准LIGA 技术 | 第33-36页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 多层光刻胶工艺的研究 | 第33-35页 |
| 3.3 利用多层光刻胶工艺的准LIGA 技术 | 第35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 微齿轮的原理和设计 | 第36-44页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 微齿轮结构的原理和设计 | 第36-37页 |
| 4.3 制作微齿轮的掩模版设计 | 第37-38页 |
| 4.4 关键工艺的摸索和研究 | 第38-43页 |
| 4.5 实验结果分析 | 第43页 |
| 4.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-49页 |
| 攻读硕士学位期间的学术论文 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
