| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 概述 | 第9-10页 |
| 1.2 微机电系统的发展历史与现状 | 第10-12页 |
| 1.2.1 MEMS的发展历史 | 第10-11页 |
| 1.2.2 MEMS的发展现状 | 第11页 |
| 1.2.3 国内MEMS的发展现状 | 第11-12页 |
| 1.3 微机电系统的应用与展望 | 第12页 |
| 1.4 MEMS谐振器件 | 第12-14页 |
| 1.4.1 MEMS谐振器件的介绍 | 第12-13页 |
| 1.4.2 MEMS谐振器件的品质因数 | 第13页 |
| 1.4.3 微梁谐振器件的应用 | 第13-14页 |
| 1.5 热弹性阻尼及其研究现状 | 第14-16页 |
| 1.5.1 热弹性阻尼的概念及其产生机理 | 第14-15页 |
| 1.5.2 经典理论模型 | 第15-16页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 1.7 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 现有的微梁谐振器件的热弹性阻尼机理与模型 | 第18-40页 |
| 2.1 微梁的一维热传导方程 | 第18-20页 |
| 2.2 Zener的TED理论模型 | 第20-28页 |
| 2.2.1 矩形截面梁热传导方程的求解 | 第20-23页 |
| 2.2.2 矩形截面梁的经典TED模型 | 第23-25页 |
| 2.2.3 圆形截面梁TED的模型 | 第25-28页 |
| 2.3 LR的改进TED理论模型 | 第28-30页 |
| 2.4 Ru的简化TED理论模型及其应用 | 第30-38页 |
| 2.4.1 热传导方程及其求解 | 第31-32页 |
| 2.4.2 Ru的热弹性阻尼模型 | 第32-33页 |
| 2.4.3 矩形截面梁的TED模型 | 第33-35页 |
| 2.4.4 椭圆形截面梁的TED模型 | 第35-36页 |
| 2.4.5 等腰三角形截面梁的TED模型 | 第36-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 具有菱形截面的微梁谐振器件的热弹性阻尼机理与模型 | 第40-51页 |
| 3.1 菱形截面微梁的TED模型 | 第40-45页 |
| 3.1.1 利用多项式假设模态法近似温度场 | 第40-42页 |
| 3.1.2 菱形截面微梁的TED模型 | 第42-45页 |
| 3.2 Ru的TED简化模型的改进 | 第45-49页 |
| 3.2.1 热传导方程的求解的改进 | 第46页 |
| 3.2.2 改进后的TED模型 | 第46-47页 |
| 3.2.3 改进后菱形截面微梁的TED模型 | 第47-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 理论模型与FEM数值结果的比较分析 | 第51-65页 |
| 4.1 几何尺寸对TED的影响 | 第51-53页 |
| 4.2 正方形截面微梁振动方向对TED的影响 | 第53页 |
| 4.3 一阶固有频率下的热弹性阻尼 | 第53-54页 |
| 4.4 菱形截面微梁工作时温度场 | 第54-55页 |
| 4.5 改进后的理论模型与原理论模型对比 | 第55-58页 |
| 4.6 有限元数值模拟及结果对比 | 第58-63页 |
| 4.7 结论 | 第63-64页 |
| 4.8 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 5.1 全文总结 | 第65-66页 |
| 5.2 不足和展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录一 求解菱形截面微梁的热弹性阻尼的MATLAB程序 | 第71-78页 |
| (一)、绝热边界条件下菱形截面微梁与矩形截面微梁热弹性阻尼值的MATLAB程序 | 第71-73页 |
| (二)、工作在一阶固有频率下菱形截面微梁热弹性阻尼值的MATLAB程序 | 第73-74页 |
| (三)、菱形截面微梁工作时温度场的MATLAB程序 | 第74-75页 |
| (四)、理论模型与有限元模型对比的MATLAB程序 | 第75-78页 |
| 附录二 求解菱形截面微梁热弹性阻尼值的ANSYS程序 | 第78-79页 |
