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高气压等离子体微波共振探针的优化研究

摘要第4-6页
Abstract第6页
第一章 绪论第8-17页
    1.1 常用的等离子体探针诊断方法第8-13页
        1.1.1 朗缪尔探针诊断方法第8-9页
        1.1.2 磁探针诊断方法第9-10页
        1.1.3 微波共振探针诊断方法第10-13页
    1.2 简介品质因子Q第13-15页
    1.3 论文主要研究的内容和意义第15-17页
第二章 优化共振探针系统几何结构第17-33页
    2.1 U型探针几何结构优化第17-26页
        2.1.1 U型探针弯曲角度对辐射和近电场场强分布的影响第17-20页
        2.1.2 U型探针的臂长对辐射和近电场场强分布的影响第20-22页
        2.1.3 U型探针的臂间距对辐射和近电场场强分布的影响第22-24页
        2.1.4 优化U型探针几何结构实验第24-26页
    2.2 耦合线圈几何结构优化第26-32页
        2.2.1 耦合线圈的匝数对探针品质因子的影响第26-27页
        2.2.2 耦合线圈的半径对辐射和近电场场强分布的影响第27-29页
        2.2.3 制作耦合线圈金属线的直径对辐射和近电场场强分布的影响第29-32页
    2.3 本章小结第32-33页
第三章 U型探针与耦合线圈相对位置对品质因子Q影响探究第33-44页
    3.1 改变U型探针与耦合线圈横向相对位置时辐射和近电场场强分布第33-36页
    3.2 改变U型探针与耦合线圈纵向相对位置时辐射和近电场场强分布第36-39页
    3.3 应用导电布对共振结构处进行包裹后Q值变化第39-41页
    3.4 应用频谱仪测量空间点辐射第41-43页
    3.5 本章小结第43-44页
第四章 应用微波共振探针诊断大气压辉光射流第44-52页
    4.1 U型探针诊断大气压等离子体参数的原理第44-45页
    4.2 放电装置及实验仪器第45-46页
    4.3 U型探针诊断高气压等离子体参数第46-49页
        4.3.1 放电功率对品质因子的影响第46-48页
        4.3.2 气体流量对品质因子的影响第48-49页
    4.4 不同功率时电子数密度的计算第49-51页
    4.5 本章小结第51-52页
第五章 全文总结第52-54页
参考文献第54-57页
致谢第57页

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