| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 本文的研究背景、来源和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 国内外传感器研究发展及现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 MEMS传感器的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容及章节安排 | 第14-17页 |
| 1.3.1 本文主要研究的内容 | 第14-15页 |
| 1.3.2 本文章节划分和安排 | 第15-17页 |
| 2 电场式圆时栅工作原理 | 第17-29页 |
| 2.1 时空转换测量理论 | 第17-20页 |
| 2.2 第一代机械式时栅 | 第20-21页 |
| 2.3 第二代磁场式时栅 | 第21-23页 |
| 2.4 第三代电场式时栅 | 第23-27页 |
| 2.4.1 时栅行波方程 | 第23-24页 |
| 2.4.2 电场式圆时栅结构 | 第24-25页 |
| 2.4.3 电场式圆时栅测量原理 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-29页 |
| 3 结构优化设计及器件制造 | 第29-43页 |
| 3.1 COMSOL MULTIPHYSICS简介 | 第29页 |
| 3.2 结构优化仿真 | 第29-37页 |
| 3.2.1 双列式圆时栅仿真 | 第30-33页 |
| 3.2.2 单列式圆时栅仿真 | 第33-37页 |
| 3.3 传感器加工制造 | 第37-40页 |
| 3.3.1 动定尺版图结构 | 第37页 |
| 3.3.2 动定尺加工 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-43页 |
| 4 实验系统平台 | 第43-57页 |
| 4.1 RPI气浮转台 | 第43-45页 |
| 4.2 圆度仪 | 第45-46页 |
| 4.3 激励信号系统 | 第46-48页 |
| 4.4 信号采集系统 | 第48-49页 |
| 4.5 信号处理系统 | 第49-53页 |
| 4.6 实验平台的搭建 | 第53-56页 |
| 4.7 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 实验验证与分析 | 第57-71页 |
| 5.1 双列式圆时栅相关实验 | 第57-61页 |
| 5.2 单列结构实验 | 第61-69页 |
| 5.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 6 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 总结 | 第71-72页 |
| 6.2 展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第79页 |