| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 激光加工技术概述 | 第10-12页 |
| 1.1.1 激光加工技术的研究背景 | 第10页 |
| 1.1.2 激光加工技术的发展与现状 | 第10-12页 |
| 1.2 磁悬浮技术的国内外发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3 鲁棒控制的国内外发展现状 | 第13-14页 |
| 1.4 课题的提出及研究意义 | 第14页 |
| 1.4.1 课题的提出 | 第14页 |
| 1.4.2 研究意义 | 第14页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 1.6 本章小结 | 第15-16页 |
| 第2章 激光焦点磁力驱动微动平台的搭建与结构分析 | 第16-22页 |
| 2.1 第一代微动平台的结构 | 第16-17页 |
| 2.2 现有微动平台在实验中存在的不足 | 第17-18页 |
| 2.3 微动平台的优化方案 | 第18-20页 |
| 2.4 微动平台硬件系统的连接 | 第20-21页 |
| 2.5 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 微动平台的力学特性和磁场特性分析 | 第22-37页 |
| 3.1 微动平台的磁场特性和力学特性分析 | 第22-31页 |
| 3.1.1 环形永磁体数学模型建立 | 第22-25页 |
| 3.1.2 永磁体径向磁力与径向和轴向位移的有限元仿真与实验分析 | 第25-29页 |
| 3.1.3 电磁铁的选择及力学模型的建立和实验测量 | 第29-30页 |
| 3.1.4 差动电磁铁数学模型的建立 | 第30-31页 |
| 3.2 微动平台的动力学模型建立 | 第31-36页 |
| 3.2.1 笛卡尔坐标系下的系统受力分析 | 第31-32页 |
| 3.2.2 系统电磁铁组驱动力的数学模型建立 | 第32-33页 |
| 3.2.3 系统水平方向永磁弹簧回复力的数学模型的建立 | 第33页 |
| 3.2.4 系统动力学模型的建立 | 第33-35页 |
| 3.2.5 控制系统的可观可控性分析 | 第35-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 混合灵敏度问题的鲁棒控制器设计与仿真分析 | 第37-49页 |
| 4.1 H_∞混合灵敏度设计问题 | 第37-39页 |
| 4.1.1 H_∞标准设计问题的定义 | 第37页 |
| 4.1.2 H_∞混合灵敏度问题 | 第37-38页 |
| 4.1.3 混合灵敏度权函数的选择 | 第38-39页 |
| 4.2 微动平台的混合灵敏度鲁棒控制器设计 | 第39-42页 |
| 4.3 微动平台鲁棒控制系统的仿真分析 | 第42-48页 |
| 4.3.1 Y方向鲁棒控制仿真分析 | 第42-44页 |
| 4.3.2 X方向鲁棒控制仿真分析 | 第44-46页 |
| 4.3.3 转角鲁棒控制仿真分析 | 第46-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 激光焦点控制系统的实验分析 | 第49-63页 |
| 5.1 控制系统实验的硬件参数校正 | 第49-51页 |
| 5.1.1 传感器的校正 | 第49-50页 |
| 5.1.2 功率放大器参数的校正 | 第50-51页 |
| 5.2 控制系统的实验分析 | 第51-57页 |
| 5.2.1 Y方向鲁棒控制实验分析 | 第51-53页 |
| 5.2.2 X方向鲁棒控制实验分析 | 第53-55页 |
| 5.2.3 XY方向鲁棒控制实验分析 | 第55-57页 |
| 5.3 鲁棒控制和PID控制的实验对比分析 | 第57-62页 |
| 5.3.1 Y方向鲁棒控制和PID控制的实验对比分析 | 第57-59页 |
| 5.3.2 X方向鲁棒控制和PID控制的实验对比分析 | 第59-60页 |
| 5.3.3 XY方向鲁棒控制和PID控制的实验对比分析 | 第60-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 结论 | 第63页 |
| 6.2 展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 在学研究成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
