| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 主要符号表 | 第18-19页 |
| 1 绪论 | 第19-38页 |
| 1.1 等离子体与微电子工业 | 第19页 |
| 1.2 射频等离子体源 | 第19-22页 |
| 1.3 外部参数对射频感性耦合等离子体均匀性影响的研究现状 | 第22-36页 |
| 1.3.1 气体参数 | 第23-24页 |
| 1.3.2 腔室几何参数 | 第24-27页 |
| 1.3.3 线圈结构参数 | 第27-30页 |
| 1.3.4 电源参数 | 第30-36页 |
| 1.4 本文的研究内容和安排 | 第36-38页 |
| 2 感性耦合等离子体的流体力学模型 | 第38-47页 |
| 2.1 引言 | 第38-39页 |
| 2.2 二维流体力学模型 | 第39-41页 |
| 2.2.1 流体力学模块 | 第39-41页 |
| 2.2.2 电磁场模块 | 第41页 |
| 2.3 边界条件 | 第41-44页 |
| 2.4 数值方法 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 3 脉冲直流偏压对氮射频感性耦合等离子体特性的影响 | 第47-62页 |
| 3.1 引言 | 第47页 |
| 3.2 N_2等离子体化学反应模型 | 第47-50页 |
| 3.3 不同偏压幅值 | 第50-57页 |
| 3.4 不同偏压频率 | 第57-61页 |
| 3.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 4 双线圈的电源参数对氩等离子体特性的影响 | 第62-73页 |
| 4.1 引言 | 第62-63页 |
| 4.2 单频线圈放电时的等离子体特性 | 第63-64页 |
| 4.3 双频线圈放电时的等离子体特性 | 第64-72页 |
| 4.3.1 不同内线圈频率 | 第64-68页 |
| 4.3.2 不同内线圈电流 | 第68-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 5 脉冲调制的双频双线圈电源参数对氩/氧等离子体特性的影响 | 第73-87页 |
| 5.1 引言 | 第73页 |
| 5.2 Ar/O_2等离子体化学反应模型 | 第73-76页 |
| 5.3 不同气体组分下的等离子体特性 | 第76-78页 |
| 5.4 外线圈电流对等离子体均匀性的影响 | 第78-82页 |
| 5.5 脉冲占空比对等离子体均匀性的影响 | 第82-85页 |
| 5.6 本章小结 | 第85-87页 |
| 6 结论与展望 | 第87-89页 |
| 6.1 结论 | 第87-88页 |
| 6.2 创新点 | 第88页 |
| 6.3 展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-99页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 作者简介 | 第101页 |
