| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 主要符号表 | 第19-21页 |
| 1 绪论 | 第21-47页 |
| 1.1 低温等离子体概述 | 第21-25页 |
| 1.1.1 低温等离子体 | 第21-22页 |
| 1.1.2 低温等离子体源 | 第22-25页 |
| 1.2 容性耦合等离子体研究方法 | 第25-31页 |
| 1.2.1 实验诊断方法 | 第26-29页 |
| 1.2.2 数值模拟研究 | 第29-31页 |
| 1.3 容性耦合等离子体的研究进展 | 第31-38页 |
| 1.3.1 容性耦合等离子体放电特性与研究进展 | 第31-36页 |
| 1.3.2 大面积容性放电中等离子体均匀性的研究进展 | 第36-38页 |
| 1.4 氮及氮/氩等离子体的应用及研究进展 | 第38-45页 |
| 1.4.1 氮及氮/氩等离子体的应用 | 第38-40页 |
| 1.4.2 氮等离子体的研究进展 | 第40-42页 |
| 1.4.3 氮/氩等离子体的研究进展 | 第42-45页 |
| 1.5 本文研究内容和安排 | 第45-47页 |
| 2 容性耦合等离子体的流体力学模型 | 第47-60页 |
| 2.1 引言 | 第47页 |
| 2.2 流体力学方程及边界条件 | 第47-51页 |
| 2.2.1 连续方程 | 第47-48页 |
| 2.2.2 动量守恒方程 | 第48-50页 |
| 2.2.3 能量守恒方程 | 第50-51页 |
| 2.3 静电模型及边界条件 | 第51-52页 |
| 2.4 数值方法 | 第52-54页 |
| 2.5 化学反应及系数处理 | 第54-57页 |
| 2.6 MAPS软件平台介绍 | 第57-59页 |
| 2.7 本章小结 | 第59-60页 |
| 3 容性耦合氮等离子体放电特性研究 | 第60-73页 |
| 3.1 引言 | 第60页 |
| 3.2 放电腔室及放电参数 | 第60-61页 |
| 3.3 射频源功率对放电的影响 | 第61-66页 |
| 3.4 极板间距对放电的影响 | 第66-69页 |
| 3.5 实验验证 | 第69-71页 |
| 3.5.1 实验诊断系统 | 第69-70页 |
| 3.5.2 模拟结果与实验结果对比 | 第70-71页 |
| 3.6 本章小结 | 第71-73页 |
| 4 容性耦合氮/氩等离子体放电特性研究 | 第73-100页 |
| 4.1 引言 | 第73页 |
| 4.2 放电腔室及放电参数 | 第73-74页 |
| 4.3 粒子密度的空间分布 | 第74-77页 |
| 4.3.1 带电粒子密度的空间分布 | 第74-75页 |
| 4.3.2 中性粒子密度的空间分布 | 第75-77页 |
| 4.4 气体比例对放电的影响 | 第77-87页 |
| 4.4.1 气体比例对带电粒子密度的影响 | 第78-83页 |
| 4.4.2 气体比例对中性粒子密度的影响 | 第83-87页 |
| 4.5 射频源功率对放电的影响 | 第87-92页 |
| 4.5.1 射频源功率对带电粒子密度的影响 | 第88-90页 |
| 4.5.2 射频源功率对中性粒子密度的影响 | 第90-92页 |
| 4.6 实验验证 | 第92-98页 |
| 4.6.1 实验诊断系统 | 第92-94页 |
| 4.6.2 模拟结果与实验结果对比 | 第94-98页 |
| 4.7 本章小结 | 第98-100页 |
| 5 绝缘材料对大面积容性耦合氮/氩等离子体均匀性的影响 | 第100-115页 |
| 5.1 引言 | 第100-101页 |
| 5.2 放电腔室及放电参数 | 第101-103页 |
| 5.2.1 绝缘介质模型 | 第101-102页 |
| 5.2.2 放电腔室及放电参数 | 第102-103页 |
| 5.3 绝缘环相对介电常数对放电的影响 | 第103-107页 |
| 5.4 绝缘环厚度对放电的影响 | 第107-110页 |
| 5.5 绝缘环宽度对放电的影响 | 第110-114页 |
| 5.6 本章小结 | 第114-115页 |
| 6 结论与展望 | 第115-118页 |
| 6.1 结论 | 第115-116页 |
| 6.2 创新点 | 第116页 |
| 6.3 展望 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-128页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第128-129页 |
| 致谢 | 第129-131页 |
| 作者简介 | 第131页 |