| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-30页 |
| ·太阳电池的发展和研究意义 | 第14-20页 |
| ·硅薄膜太阳电池的研究现状 | 第20-25页 |
| ·非晶硅薄膜太阳电池 | 第21-22页 |
| ·多晶硅薄膜太阳电池 | 第22-23页 |
| ·微晶硅薄膜太阳电池 | 第23-24页 |
| ·纳米硅薄膜太阳电池 | 第24-25页 |
| ·本论文的主要工作 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 参考文献 | 第27-30页 |
| 第二章 纳米硅薄膜制备与表征技术 | 第30-50页 |
| ·纳米硅薄膜制备 | 第30-39页 |
| ·纳米硅薄膜制备方法 | 第30-34页 |
| ·衬底准备 | 第34-36页 |
| ·薄膜制备 | 第36页 |
| ·纳米硅薄膜生长机制分析 | 第36-39页 |
| ·纳米硅薄膜的物性表征技术 | 第39-48页 |
| ·原子力显微镜 | 第39-41页 |
| ·X射线衍射仪 | 第41-42页 |
| ·拉曼光谱技术 | 第42-44页 |
| ·傅立叶变换红外光谱仪 | 第44-45页 |
| ·四探针电阻测试仪 | 第45-47页 |
| ·紫外-可见光透射光谱仪 | 第47页 |
| ·纳米压痕仪 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第三章 纳米硅薄膜太阳电池窗口层的研究 | 第50-64页 |
| ·掺硼纳米硅薄膜的表面形貌特性 | 第51-52页 |
| ·掺硼纳米硅薄膜的微结构研究 | 第52-56页 |
| ·掺硼纳米硅薄膜的电学特性 | 第56-59页 |
| ·掺硼纳米硅薄膜的光学特性 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 第四章 纳米硅薄膜太阳电池光吸收层的研究 | 第64-84页 |
| ·关键工艺条件对纳米硅薄膜微结构的影响 | 第64-70页 |
| ·衬底温度对纳米硅薄膜微结构的影响 | 第65-66页 |
| ·射频功率对纳米硅薄膜微结构的影响 | 第66-67页 |
| ·硅烷浓度对纳米硅薄膜微结构的影响 | 第67-69页 |
| ·直流偏压对纳米硅薄膜微结构的影响 | 第69-70页 |
| ·不同晶态比纳米硅薄膜光学特性研究 | 第70-74页 |
| ·高氢稀释比例条件下纳米硅薄膜光学特性研究 | 第74-76页 |
| ·高氢稀释比条件下纳米硅薄膜的氢含量计算 | 第76-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 第五章 纳米硅薄膜光学理论模型研究 | 第84-102页 |
| ·有效介质理论模型 | 第84-86页 |
| ·膜厚均匀变化法模型 | 第86-88页 |
| ·包络理论模型 | 第88-90页 |
| ·纳米硅薄膜光吸收近似特性模型 | 第90-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-102页 |
| 第六章 纳米硅薄膜表面形貌特征和力学特性研究 | 第102-114页 |
| ·纳米硅薄膜表面形貌特征 | 第102-106页 |
| ·纳米硅薄膜力学特性研究 | 第106-112页 |
| ·本章小结 | 第112页 |
| 参考文献 | 第112-114页 |
| 第七章 结论与展望 | 第114-120页 |
| ·主要结论 | 第114-115页 |
| ·下一步工作及展望 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-120页 |
| 致谢 | 第120-122页 |
| 攻读博士期间发表论文、专利、完成科研项目及所获奖励 | 第122-124页 |