光伏电池表面微结构制备及其抗反射性能研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-31页 |
| ·光伏电池概述 | 第13-19页 |
| ·光伏电池发展历史 | 第13-14页 |
| ·光伏电池结构、组成及原理 | 第14-16页 |
| ·光伏电池目前所存在的问题 | 第16-19页 |
| ·表面抗反射微结构在光伏电池中的应用研究 | 第19-22页 |
| ·表面抗反射微结构的起源 | 第19-20页 |
| ·表面抗反射微结构的基本原理 | 第20-21页 |
| ·表面抗反射微结构在光伏电池中的重要作用 | 第21-22页 |
| ·光伏电池表面微结构制备方法 | 第22-28页 |
| ·光刻技术 | 第22-23页 |
| ·刻蚀技术 | 第23-25页 |
| ·纳米压印技术 | 第25-26页 |
| ·"探针"技术 | 第26-27页 |
| ·自组装技术 | 第27-28页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第28-31页 |
| 第二章 光伏电池表面纳米多孔结构的制备 | 第31-49页 |
| ·引言 | 第31-33页 |
| ·多孔硅材料概述 | 第31页 |
| ·金属粒子诱导钻蚀的基本原理 | 第31-33页 |
| ·实验部分 | 第33-36页 |
| ·实验材料和试剂 | 第33页 |
| ·主要实验设备 | 第33-34页 |
| ·实验方法与流程 | 第34-36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-48页 |
| ·不同刻蚀温度对硅表面微结构及反射率的影响 | 第36-38页 |
| ·不同刻蚀时间对硅表面微结构及反射率的影响 | 第38-41页 |
| ·不同膜厚的金属对硅表面微结构及反射率的影响 | 第41-43页 |
| ·不同浓度的腐蚀液对硅表面微结构及反射率的影响 | 第43-45页 |
| ·多孔硅表面微结构的抗反射作用 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 光伏电池表面尖锥状微结构的制备 | 第49-73页 |
| ·飞秒激光简介 | 第49-59页 |
| ·飞秒激光的特点 | 第49-51页 |
| ·飞秒激光诱导材料表面微结构的研究进展 | 第51-59页 |
| ·实验装置的及样品的前处理 | 第59-61页 |
| ·实验装置 | 第59-61页 |
| ·样品前处理 | 第61页 |
| ·实验方法与步骤 | 第61-63页 |
| ·结果与分析 | 第63-71页 |
| ·不同加工速度对微观形貌的影响 | 第64-66页 |
| ·不同激光能量对微观形貌的影响 | 第66-67页 |
| ·不同背景环境下对微观形貌的影响 | 第67-68页 |
| ·微结构硅表面的光学性能表征 | 第68-69页 |
| ·黑硅表面的减反效果与陷光模型 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第四章 光伏电池表面草状微结构的制备 | 第73-93页 |
| ·引言 | 第73-77页 |
| ·等离子体刻蚀概述 | 第73-74页 |
| ·等离子体(化学)刻蚀的基本原理 | 第74-76页 |
| ·电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术 | 第76-77页 |
| ·实验部分 | 第77-79页 |
| ·实验材料和试剂 | 第77页 |
| ·主要实验设备 | 第77页 |
| ·实验步骤 | 第77-79页 |
| ·结果与讨论 | 第79-91页 |
| ·SF6/O2气体流量比对硅表面形貌的影响 | 第79-81页 |
| ·工作气压对硅表面形貌的影响 | 第81-83页 |
| ·刻蚀时间对硅表面形貌的影响 | 第83-85页 |
| ·RF功率对硅表面形貌的影响 | 第85-87页 |
| ·"硅草"表面的减反射效果与等效介质理论 | 第87-91页 |
| ·本章小结 | 第91-93页 |
| 第五章 光伏电池表面金属微纳米结构的抗反射研究 | 第93-109页 |
| ·引言 | 第93-96页 |
| ·表面等离子体共振(SPR)效应 | 第93-95页 |
| ·金属颗粒表面等离子体共振在光伏电池中的应用 | 第95-96页 |
| ·实验部分 | 第96-100页 |
| ·主要实验设备 | 第96-97页 |
| ·实验原料 | 第97-98页 |
| ·实验方法和工艺流程 | 第98-99页 |
| ·金属银薄膜处理后产物的表征方式 | 第99-100页 |
| ·结果与讨论 | 第100-107页 |
| ·Si/SiO2基体表面银颗粒的制备 | 第100-101页 |
| ·基底材料对纳米结构形貌的影响 | 第101-102页 |
| ·温度对纳米结构形貌的影响 | 第102-104页 |
| ·时间对纳米结构形貌的影响 | 第104-106页 |
| ·不同尺寸下的银颗粒的光学吸收增强效应 | 第106-107页 |
| ·本章小结 | 第107-109页 |
| 第六章 总结与展望 | 第109-113页 |
| ·总结 | 第109-110页 |
| ·本论文创新点 | 第110-111页 |
| ·进一步研究与展望 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-119页 |
| 致谢 | 第119-121页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及参研项目 | 第121-122页 |
