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WO3-Pd复合薄膜的制备及其在氢气检测中的应用

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-19页
   ·引言第9-10页
   ·光纤氢气传感器研究现状第10-15页
   ·氢气敏感材料的研究现状第15-17页
   ·本文主要研究内容第17-18页
   ·本章小结第18-19页
第二章 光纤光栅氢气传感器的理论基础第19-29页
   ·Pd材料的氢气敏感特性第19-22页
   ·光纤光栅的传感机理第22-26页
     ·光纤光栅的结构第22页
     ·光纤光栅的制作方法第22-23页
     ·光纤光栅的传感原理第23-26页
   ·光纤光栅氢气传感器的理论模型第26-27页
   ·本章小结第27-29页
第三章 光纤光栅的抛磨及薄膜的制备技术第29-42页
   ·光纤光栅的抛磨技术第29-31页
   ·薄膜真空的制备技术的分类第31-38页
     ·真空蒸发镀膜技术第31-32页
     ·真空离子镀膜技术第32-33页
     ·真空溅射镀膜技术第33-38页
   ·WO_3-Pd复合膜的制备第38-41页
   ·本章小结第41-42页
第四章 光纤光栅氢气传感器性能研究第42-54页
   ·光纤光栅氢气传感器系统的设计第42-43页
   ·WO_3-Pd复合薄膜的表征第43页
   ·光纤光栅氢气传感器的表面形貌观察第43-44页
   ·实验结果分析第44-51页
   ·热处理对光纤光栅氢气传感器性能的影响第51-53页
   ·本章小结第53-54页
第五章 总结与展望第54-56页
参考文献第56-60页
致谢第60-61页
攻读硕士学位期间发表的论文第61页

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