WO3-Pd复合薄膜的制备及其在氢气检测中的应用
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
第一章 绪论 | 第9-19页 |
·引言 | 第9-10页 |
·光纤氢气传感器研究现状 | 第10-15页 |
·氢气敏感材料的研究现状 | 第15-17页 |
·本文主要研究内容 | 第17-18页 |
·本章小结 | 第18-19页 |
第二章 光纤光栅氢气传感器的理论基础 | 第19-29页 |
·Pd材料的氢气敏感特性 | 第19-22页 |
·光纤光栅的传感机理 | 第22-26页 |
·光纤光栅的结构 | 第22页 |
·光纤光栅的制作方法 | 第22-23页 |
·光纤光栅的传感原理 | 第23-26页 |
·光纤光栅氢气传感器的理论模型 | 第26-27页 |
·本章小结 | 第27-29页 |
第三章 光纤光栅的抛磨及薄膜的制备技术 | 第29-42页 |
·光纤光栅的抛磨技术 | 第29-31页 |
·薄膜真空的制备技术的分类 | 第31-38页 |
·真空蒸发镀膜技术 | 第31-32页 |
·真空离子镀膜技术 | 第32-33页 |
·真空溅射镀膜技术 | 第33-38页 |
·WO_3-Pd复合膜的制备 | 第38-41页 |
·本章小结 | 第41-42页 |
第四章 光纤光栅氢气传感器性能研究 | 第42-54页 |
·光纤光栅氢气传感器系统的设计 | 第42-43页 |
·WO_3-Pd复合薄膜的表征 | 第43页 |
·光纤光栅氢气传感器的表面形貌观察 | 第43-44页 |
·实验结果分析 | 第44-51页 |
·热处理对光纤光栅氢气传感器性能的影响 | 第51-53页 |
·本章小结 | 第53-54页 |
第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
参考文献 | 第56-60页 |
致谢 | 第60-61页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第61页 |