梳齿电容式微加速度传感器研究与设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·微机电系统简介 | 第7页 |
| ·微加速度传感器的发展现状 | 第7-10页 |
| ·微加速度器的发展 | 第7-8页 |
| ·典型的微加速度器比较 | 第8-10页 |
| ·MEMS设计技术的研究现状 | 第10-11页 |
| ·课题研究意义 | 第11-13页 |
| ·课题研究背景 | 第11-12页 |
| ·课题意义 | 第12-13页 |
| ·论文主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 MEMS微加速度传感器相关理论概述 | 第15-31页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·微机械加速度传感器的作用原理 | 第15页 |
| ·微机械加速度传感器的静电驱动原理 | 第15-25页 |
| ·静电驱动基础 | 第16-22页 |
| ·平行板静电纵向驱动原理 | 第22-23页 |
| ·平行板静电横向驱动原理 | 第23-25页 |
| ·微加速度传感器检测理论 | 第25-28页 |
| ·加速度检测电路接口特点 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 电容式微加速度传感器系统设计 | 第31-43页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·弹性结构设计 | 第31-34页 |
| ·支撑梁结构设计 | 第31-33页 |
| ·支撑梁的理论计算和模型 | 第33-34页 |
| ·微加速度传感器动力学分析 | 第34-37页 |
| ·微加速度传感器电容检测接口模型 | 第37-39页 |
| ·交叉灵敏度研究 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 MEMS电容式微加速度传感器机电耦合仿真 | 第43-59页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·有限元方法简介及软件系统级模型介绍 | 第43-50页 |
| ·静电刚度分析 | 第50-51页 |
| ·模态分析仿真 | 第51-52页 |
| ·瞬态响应分析 | 第52-57页 |
| ·差分电容输出仿真分析 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 微加速度传感器读取电路初步设计 | 第59-65页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·信号读取电路概述 | 第59-60页 |
| ·调制解调电路原理 | 第60-61页 |
| ·放大器电路 | 第61-64页 |
| ·开关电容电荷放大器 | 第61-62页 |
| ·可调增益放大器 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结及展望 | 第65-67页 |
| ·总结 | 第65-66页 |
| ·工作展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 研究成果 | 第73-74页 |
