光刻机精密水温控制系统的温控模块设计及其算法研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题背景 | 第11-12页 |
| ·光刻机温度控制概述 | 第12-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-18页 |
| ·论文研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 温度控制系统设计概述及系统建模 | 第19-29页 |
| ·温度控制系统设计概述与主要设计指标 | 第19-22页 |
| ·温度控制系统设计概述 | 第19-21页 |
| ·主要技术指标 | 第21-22页 |
| ·系统建模 | 第22-28页 |
| ·机理建模 | 第22-26页 |
| ·实验建模 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 控制算法研究与仿真分析 | 第29-51页 |
| ·PID 控制 | 第29-35页 |
| ·PID 控制原理 | 第29-31页 |
| ·PID 控制系统仿真分析 | 第31-35页 |
| ·史密斯预估控制 | 第35-40页 |
| ·史密斯预估补偿原理 | 第36-37页 |
| ·史密斯预估补偿控制仿真分析 | 第37-40页 |
| ·多模参数自整定模糊 PID 控制 | 第40-50页 |
| ·模糊控制理论概述 | 第41-43页 |
| ·多模参数自整定模糊 PID 设计 | 第43-45页 |
| ·多模参数自整定模糊 PID 仿真分析 | 第45-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 温控模块系统设计 | 第51-63页 |
| ·温控模块系统硬件设计 | 第51-58页 |
| ·控制器设计 | 第51-53页 |
| ·制冷加热控制模块设计 | 第53-54页 |
| ·测量模块设计 | 第54-56页 |
| ·系统安全保护模块设计 | 第56-57页 |
| ·上位机和管路控制模块设计 | 第57-58页 |
| ·温控模块系统软件设计 | 第58-62页 |
| ·系统运行流程设计 | 第59-60页 |
| ·管路控制流程设计 | 第60页 |
| ·温度控制流程设计 | 第60-61页 |
| ·系统安全报警流程设计 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 装机实验 | 第63-69页 |
| ·装机测试 | 第63-65页 |
| ·温度控制精度测试与分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·设计总结 | 第69页 |
| ·展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 附录 | 第76-83页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第83-84页 |
