MEMS纳米接触的多尺度分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·微电子机械系统的概述 | 第10-11页 |
| ·微电子机械系统的国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·微电子机械系统中的纳米接触问题 | 第12-14页 |
| ·微电子机械系统纳米接触的主要研究方法与现状 | 第14-17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 多尺度准连续介质法 | 第18-28页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·准连续介质的简介 | 第18-27页 |
| ·原子建模 | 第18-21页 |
| ·准连续介质法的实现 | 第21-27页 |
| ·准连续介质法的应用和主要发展方向 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 楔形压头与光滑表面基体之间的纳米接触过程 | 第28-46页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·光滑表面接触模型 | 第28-29页 |
| ·模拟结果与分析 | 第29-36页 |
| ·载荷-位移响应曲线和接触半径-位移响应 | 第29-31页 |
| ·原子分析 | 第31-36页 |
| ·讨论 | 第36-44页 |
| ·经典接触模型的二维推广 | 第36-38页 |
| ·接触半径-载荷响应 | 第38-40页 |
| ·接触应力分布 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 楔形压头与粗糙表面基体之间的纳米接触过程 | 第46-65页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·单粗糙峰接触模型 | 第46-52页 |
| ·计算模型介绍 | 第46-47页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·多粗糙峰表面接触模型 | 第52-63页 |
| ·计算模型介绍 | 第52-54页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第54-63页 |
| ·小结 | 第63-65页 |
| 第五章 总结与展望 | 第65-68页 |
| ·总结 | 第65-67页 |
| ·展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
