| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| ·MOCVD 概述 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-13页 |
| ·市场应用前景 | 第13-15页 |
| ·研究内容和论文安排 | 第15-17页 |
| 2 MOCVD 原理及MOCVD 系统 | 第17-25页 |
| ·外延生长 | 第17页 |
| ·MOCVD 原理 | 第17-19页 |
| ·MOCVD 系统结构 | 第19-22页 |
| ·MOCVD 系统运行过程 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 MOCVD 气路控制 | 第25-38页 |
| ·MOCVD 气路控制系统概述 | 第25-26页 |
| ·MO 源钢瓶压力控制 | 第26-27页 |
| ·RUN 管路和 VENT管路的压差控制 | 第27-31页 |
| ·RUN 管路的气体补偿控制 | 第31-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 MOCVD 温度控制 | 第38-55页 |
| ·MOCVD 温度控制系统概述 | 第38页 |
| ·感应加热 | 第38-42页 |
| ·红外辐射加热 | 第42-46页 |
| ·加热系统设计 | 第46-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·全文总结 | 第55页 |
| ·对后续工作的展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |