ELID磨削砂轮表面氧化膜厚度在线检测
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·ELID磨削技术 | 第9-10页 |
| ·ELID超精密磨削的基本原理 | 第9-10页 |
| ·ELID超精密磨削的特点 | 第10页 |
| ·ELID磨削的研究现状和发展 | 第10-14页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-12页 |
| ·氧化膜状态的研究 | 第12-13页 |
| ·氧化膜状态的表征与识别 | 第13-14页 |
| ·课题的提出和研究意义 | 第14-15页 |
| ·研究内容及技术路线 | 第15-16页 |
| ·研究内容 | 第15页 |
| ·技术路线 | 第15-16页 |
| 2 ELID磨削氧化膜生成机理 | 第16-23页 |
| ·氧化膜的生成机理分析 | 第16-18页 |
| ·ELID修整原理 | 第16页 |
| ·氧化膜生成机理分析 | 第16-17页 |
| ·金刚石砂轮的直径增大现象 | 第17-18页 |
| ·氧化膜生长规律分析 | 第18-21页 |
| ·ELID磨削过程 | 第18页 |
| ·电解预修锐阶段氧化膜的生长行为 | 第18-20页 |
| ·动态磨削阶段氧化膜的厚度变化规律 | 第20-21页 |
| ·光磨阶段的氧化膜厚度变化 | 第21页 |
| ·氧化膜状态的影响因素 | 第21-23页 |
| 3 氧化膜厚度测量原理 | 第23-34页 |
| ·测厚仪直接测量法 | 第23-25页 |
| ·求差测量法 | 第25-30页 |
| ·氧化膜外表面测量 | 第26-28页 |
| ·氧化膜内表面测量 | 第28-30页 |
| ·氧化膜厚度测量原理 | 第30-34页 |
| ·测量原理 | 第30-31页 |
| ·测量方式 | 第31-34页 |
| 4 ELID磨削氧化膜厚度测量系统设计 | 第34-55页 |
| ·测量系统方案确定 | 第34-35页 |
| ·基于嵌入式仪器专用平台的系统方案 | 第34页 |
| ·基于虚拟仪器和LabVIEW的系统方案 | 第34-35页 |
| ·硬件系统设计 | 第35-45页 |
| ·传感器选型 | 第35-38页 |
| ·传感器安装 | 第38-41页 |
| ·传感器接线方式 | 第41-42页 |
| ·数据采集卡 | 第42-45页 |
| ·软件系统设计 | 第45-52页 |
| ·虚拟仪器技术 | 第46页 |
| ·LabVIEW程序设计的结构和特点 | 第46-47页 |
| ·虚拟仪器程序流程 | 第47-48页 |
| ·标定方法 | 第48-50页 |
| ·采集保存模块设计 | 第50-51页 |
| ·数字滤波技术 | 第51页 |
| ·LabVIEW程序的运行与调试 | 第51-52页 |
| ·测量系统误差分析 | 第52-55页 |
| ·误差的分类 | 第52页 |
| ·测试系统的主要误差 | 第52-53页 |
| ·传感器的测量误差 | 第53-55页 |
| 5 氧化膜厚度测量系统的试验研究 | 第55-70页 |
| ·传感器的标定 | 第55-59页 |
| ·激光传感器标定 | 第55-56页 |
| ·激光传感器计算结果 | 第56-57页 |
| ·电涡流传感器的标定 | 第57-58页 |
| ·电涡流传感器计算结果 | 第58-59页 |
| ·预试验研究 | 第59-65页 |
| ·基于氧化膜状态的厚度测量 | 第65-70页 |
| ·ELID装置在M7130/H平面磨床上的实现 | 第65页 |
| ·试验条件及参数 | 第65页 |
| ·试验步骤及方法 | 第65-66页 |
| ·试验结果与讨论 | 第66-70页 |
| 6 结论 | 第70-73页 |
| ·结论 | 第70页 |
| ·展望 | 第70-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
