硅基差分电容式加速度传感器的研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-14页 |
| ·选题依据和研究意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究态势 | 第11-13页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第13-14页 |
| 第二章 电容式加速度传感器基础 | 第14-23页 |
| ·工作原理 | 第14-15页 |
| ·电路模型 | 第15-17页 |
| ·空气阻尼模型 | 第17-19页 |
| ·库埃特流阻尼模型 | 第17-18页 |
| ·压膜阻尼模型 | 第18-19页 |
| ·静电力作用 | 第19-20页 |
| ·敏感元件的等效电学模拟 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第三章 电容式加速度传感器的MATLAB模拟 | 第23-39页 |
| ·敏感元件的频率特性 | 第23-27页 |
| ·敏感元件的位移输出模拟 | 第27-30页 |
| ·正弦信号的振动位移响应 | 第28-29页 |
| ·阶跃信号的振动位移响应 | 第29-30页 |
| ·电容式加速度传感器的闭环系统仿真 | 第30-35页 |
| ·闭环系统模型 | 第30-31页 |
| ·系统稳定性分析 | 第31-33页 |
| ·系统仿真 | 第33-35页 |
| ·电容式加速度传感器的开环系统仿真 | 第35-38页 |
| ·开环系统模型 | 第35-36页 |
| ·系统仿真 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 敏感元件的仿真与设计 | 第39-62页 |
| ·敏感元件结构的选取 | 第39-46页 |
| ·设计原则 | 第39页 |
| ·敏感元件选择差分电容的理论依据 | 第39-44页 |
| ·梳齿式结构 | 第44-46页 |
| ·有限元分析的技术基础 | 第46-47页 |
| ·敏感元件的参数与模型 | 第47-49页 |
| ·静力分析 | 第49-56页 |
| ·重力加速度的影响 | 第49-50页 |
| ·敏感元件的抗冲击能力 | 第50-52页 |
| ·敏感元件的线性度 | 第52-53页 |
| ·梁的参数对传感器性能的影响 | 第53-56页 |
| ·动力分析 | 第56-61页 |
| ·模态分析 | 第56-59页 |
| ·谐响应分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 结论 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第67页 |
