基于有限元方法的高频SAW气体传感器建模仿真
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·课题的研究背景 | 第10-11页 |
| ·SAW传感器的研究现状 | 第11-13页 |
| ·SAW传感器在新领域的应用 | 第11-12页 |
| ·新的基体材料的开发和应用 | 第12-13页 |
| ·新型工艺及新型结构的应用 | 第13页 |
| ·SAW传感器的建模仿真 | 第13页 |
| ·SAW传感器的理论分析及信号处理 | 第13页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第13-14页 |
| ·课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 SAW传感器的原理及应用 | 第16-34页 |
| ·SAW理论介绍 | 第16-24页 |
| ·各向同性固体中的弹性表面波 | 第16-20页 |
| ·压电各向异性固体中的弹性表面波 | 第20-24页 |
| ·SAW传感器的原理 | 第24-29页 |
| ·SAW的激发和接收 | 第24-26页 |
| ·SAW传感器的工作原理 | 第26-29页 |
| ·SAW传感器的应用 | 第29-33页 |
| ·SAW气体传感器 | 第30-31页 |
| ·SAW压力和力矩传感器 | 第31页 |
| ·SAW湿度传感器 | 第31-32页 |
| ·SAW被动式无线传感器 | 第32页 |
| ·SAW温度传感器 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 高频SAW气体传感器的设计 | 第34-43页 |
| ·压电基底材料的选择 | 第34-35页 |
| ·双通道延迟线型结构的确定 | 第35-36页 |
| ·IDT的设计 | 第36-40页 |
| ·IDT的周期p | 第36-37页 |
| ·IDT的叉指对数N | 第37-38页 |
| ·IDT敷金比ER和电极厚度EH | 第38页 |
| ·IDT的孔径W | 第38-39页 |
| ·输入和输出IDT的中心间距L | 第39页 |
| ·气体敏感区面积 | 第39-40页 |
| ·气体选择性吸收膜的选择 | 第40-41页 |
| ·传感器制作工艺设计 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 SAW传感器的有限元建模仿真 | 第43-70页 |
| ·SAW传感器有限元模型的建立 | 第43-52页 |
| ·有限元软件ANSYS简介 | 第43-44页 |
| ·压电材料的晶体切向及材料常数 | 第44-46页 |
| ·有限元模型采用的单位制 | 第46-47页 |
| ·SAW传感器模型的简化及假设 | 第47-48页 |
| ·SAW传感器有限元模型的建立过程 | 第48-52页 |
| ·无电极压电基底表面SAW传播性质的有限元分析 | 第52-54页 |
| ·传感器电极二次效应的有限元分析 | 第54-59页 |
| ·传感器IDT参数提取的谐响应仿真 | 第59-69页 |
| ·传感器IDT的谐振频率与逆谐振频率计算 | 第59-65页 |
| ·传感器IDT的电导纳值计算 | 第65-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
