细长小孔孔径精密测量系统的设计及精度分析
摘要 | 第1-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
目录 | 第6-8页 |
第一章 绪论 | 第8-15页 |
·课题来源及意义 | 第8页 |
·孔径测量发展现状 | 第8-12页 |
·国内外孔径测量新技术 | 第12-13页 |
·测量系统几何误差建模技术 | 第13页 |
·论文研究的主要内容 | 第13-15页 |
第二章 细长小孔孔径测量方法的研究 | 第15-25页 |
·引言 | 第15页 |
·被测工件的测量要求及测量方法 | 第15-18页 |
·被测工件的结构特点和测量要求 | 第15-16页 |
·测量方法的选择 | 第16-18页 |
·气动量仪的工作原理与设计 | 第18-24页 |
·气动量仪的工作原理 | 第18-19页 |
·气动测量仪的设计 | 第19-23页 |
·气电转换部分 | 第23-24页 |
·本章总结 | 第24-25页 |
第三章 测量系统的结构设计 | 第25-31页 |
·引言 | 第25页 |
·超精密孔径测量系统的总体方案设计 | 第25-26页 |
·超精密孔径测量机的基本功能与系统组成 | 第25页 |
·总体方案设计 | 第25-26页 |
·系统模块设计 | 第26-29页 |
·控制系统设计 | 第27页 |
·原动机的确定 | 第27-28页 |
·直线运动的设计 | 第28-29页 |
·测量系统测量过程描述 | 第29-30页 |
·本章小结 | 第30-31页 |
第四章 测量系统几何空间误差建模 | 第31-44页 |
·引言 | 第31页 |
·测量系统误差建模的意义 | 第31-32页 |
·齐次坐标变换理论 | 第32-35页 |
·实际几何误差的变换矩阵 | 第34-35页 |
·测量系统几何误差建模 | 第35-43页 |
·机械系统坐标系的建立 | 第36-37页 |
·测量系统机械运动部分误差建模步骤 | 第37-38页 |
·测量系统几何精度及其表示 | 第38-39页 |
·测量系统误差数学建模 | 第39-43页 |
·本章小结 | 第43-44页 |
第五章 测量系统的精度分析 | 第44-53页 |
·引言 | 第44页 |
·误差源的分析 | 第44-45页 |
·测量系统的精度分析 | 第45-51页 |
·提高测量系统测量精度的基本方法 | 第51-52页 |
·本章小结 | 第52-53页 |
第六章 结论与展望 | 第53-55页 |
·全文总结 | 第53页 |
·后续研究与展望 | 第53-55页 |
攻读硕士学位期间撰写论文及参加科研情况 | 第55-56页 |
参考文献 | 第56-59页 |
致谢 | 第59-60页 |