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ZnO和ZnO基稀磁半导体薄膜的PLD法制备及其特性研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-26页
   ·引言第9页
   ·ZnO 的特征及应用第9-12页
   ·ZnO 的研究历史和现状第12-17页
   ·稀磁半导体第17-23页
     ·稀磁半导体的定义第17-18页
     ·ZnO 基稀磁半导体的研究第18-23页
   ·ZnO 薄膜的制备方法第23-24页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第23-24页
     ·分子束外延(MBE)第24页
     ·金属有机化学气相沉积(MOCVD)第24页
     ·溶胶凝胶法(Sol-Gel)第24页
   ·本文的主要研究内容第24-26页
第二章 实验原理、实验过程与测试技术第26-37页
   ·脉冲激光沉积原理第26-32页
     ·脉冲激光沉积概述第26-27页
     ·PLD 的基本原理第27-32页
   ·实验装置第32-33页
   ·分析测试方法第33-37页
第三章 ZnO 薄膜的结构及特性研究第37-55页
   ·生长温度对ZnO 薄膜性能的影响第37-42页
     ·实验过程第37-38页
     ·结果与分析第38-42页
   ·氧气压强对ZnO 薄膜性能的影响第42-49页
     ·实验过程第43页
     ·氧压对ZnO 薄膜性能的影响第43-47页
     ·ZnO 薄膜的发光机理第47-49页
   ·Si 衬底上生长的ZnO 薄膜第49-54页
   ·本章小结第54-55页
第四章 Al 掺杂 ZnO 薄膜的光学和电学性能研究第55-63页
   ·实验过程第55-56页
   ·结果与分析第56-62页
     ·掺杂浓度对ZnO 薄膜结构特性的影响第56-58页
     ·掺杂浓度对ZnO 薄膜光电特性的影响第58-62页
   ·本章小结第62-63页
第五章 Ni,Mn 掺杂 ZnO 基 DMS 的制备与磁性研究第63-75页
   ·Zn_(1-x)Ni_xO 薄膜的制备和表征第63-68页
     ·实验过程第64页
     ·掺杂浓度对Zn_(1-x)Ni_xO薄膜结构及磁性的影响第64-68页
   ·Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的制备和表征第68-73页
     ·实验过程第69页
     ·掺杂浓度对Zn_(1-x)Mn_xO薄膜结构及磁性的影响第69-73页
   ·本章小结第73-75页
第六章 ZnO 薄膜中的二次谐波产生第75-81页
   ·实验过程第76页
   ·不同ZnO 薄膜中的SHG第76-80页
     ·不同结晶质量ZnO 薄膜中的SHG第76-79页
     ·不同掺杂浓度Zn_(1-x)Mn_xO 薄膜的SHG第79-80页
   ·本章小结第80-81页
第七章 结论第81-83页
参考文献第83-93页
致谢第93-94页
攻读学位期间所取得的相关科研成果第94-95页

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