快速响应薄膜温度传感器技术研究
| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·课题的背景及意义 | 第12-13页 |
| ·课题背景 | 第12页 |
| ·课题意义 | 第12-13页 |
| ·薄膜热电偶适用性及技术优势 | 第13-14页 |
| ·薄膜热电偶起源 | 第13页 |
| ·薄膜热电偶适用性及优势 | 第13-14页 |
| ·薄膜热电偶国内外研究现状及发展趋势 | 第14-21页 |
| ·薄膜热电偶国内研究现状 | 第14-16页 |
| ·薄膜热电偶国外研究现状 | 第16-20页 |
| ·薄膜热电偶发展趋势 | 第20-21页 |
| ·本论文研究主要内容及组织结构 | 第21-23页 |
| ·课题研究技术指标 | 第21页 |
| ·本论文研究主要内容 | 第21页 |
| ·本论文组织结构 | 第21-23页 |
| 第二章 薄膜热电偶温度传感器理论与设计 | 第23-40页 |
| ·薄膜热电偶工作原理及薄膜尺寸效应 | 第23-30页 |
| ·热电偶基本原理及重要定律 | 第23-25页 |
| ·薄膜的电学性质及电子输运理论 | 第25-26页 |
| ·连续薄膜电导率的计算 | 第26-30页 |
| ·薄膜热电偶热电势率 | 第30页 |
| ·传感器芯片设计 | 第30-33页 |
| ·热电偶薄膜版图设计 | 第30-31页 |
| ·薄膜热电偶结构设计 | 第31-32页 |
| ·镀膜工装夹具设计 | 第32-33页 |
| ·原材料选取 | 第33-36页 |
| ·基体材料及绝缘层材料 | 第33-34页 |
| ·热电偶电极材料 | 第34-35页 |
| ·保护膜材料 | 第35-36页 |
| ·传感器芯片制备工艺流程 | 第36-37页 |
| ·引线及封装 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 薄膜热电偶制备及工艺研究 | 第40-48页 |
| ·等离子束溅射镀膜技术 | 第40页 |
| ·热电偶薄膜制备过程及工艺条件 | 第40-42页 |
| ·热电偶薄膜制备过程 | 第40-41页 |
| ·热电偶薄膜制备工艺条件 | 第41-42页 |
| ·热电偶薄膜热处理工艺研究 | 第42-44页 |
| ·Al_2O_3薄膜沉积工艺 | 第44-47页 |
| ·Al_2O_3薄膜绝缘性 | 第45页 |
| ·Al_2O_3薄膜附着力 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 薄膜热电偶静态标定及动态响应特性 | 第48-61页 |
| ·薄膜热电偶静态标定方法 | 第48-50页 |
| ·静态标定相关仪器及注意事项 | 第48-49页 |
| ·静态标定具体过程 | 第49-50页 |
| ·薄膜热电偶静态标定结果及分析 | 第50-53页 |
| ·薄膜热电偶动态特性理论分析 | 第53-56页 |
| ·薄膜热电偶动态响应常用测试方法 | 第56-59页 |
| ·电加热水冷温阶动态响应测试 | 第59-60页 |
| ·激光瞬时加热温阶动态响应测试 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 薄膜热电偶样件性能测试 | 第61-66页 |
| ·薄膜热电偶静态温度特性 | 第61-62页 |
| ·薄膜热电偶精度分析 | 第61页 |
| ·薄膜热电偶高温稳定性能初步研究 | 第61-62页 |
| ·薄膜热电偶动态响应特性 | 第62-65页 |
| ·薄膜热电偶振动冲击试验 | 第65页 |
| ·振动测试试验 | 第65页 |
| ·冲击测试试验 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第72页 |
