| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 1 绪论 | 第13-23页 |
| ·MEMS技术的发展与特征 | 第13-14页 |
| ·MEMS技术的发展 | 第13-14页 |
| ·MEMS技术的特征 | 第14页 |
| ·微型热式气体流量传感器概述 | 第14-19页 |
| ·微型热式气体流量传感器的发展历史与现状 | 第14-15页 |
| ·微型热式气体流量传感器的类型与工作模式 | 第15-19页 |
| ·微型热式气体流量传感器的稳态传热研究进展 | 第19-21页 |
| ·课题主要研究内容 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 2 薄膜热导率测量 | 第23-57页 |
| ·薄膜传热基本原理 | 第23-28页 |
| ·温度场 | 第23页 |
| ·热量传递方式 | 第23-24页 |
| ·传热基本定律 | 第24-25页 |
| ·热传导方程及定解条件 | 第25-27页 |
| ·薄膜传热特性 | 第27-28页 |
| ·薄膜热导率测量方法研究现状 | 第28-35页 |
| ·接触式薄膜热导率测量方法 | 第29-33页 |
| ·非接触式薄膜热导率测量方法 | 第33-35页 |
| ·基于拉曼光谱的亚微米/纳米薄膜热导率测量方法 | 第35-49页 |
| ·拉曼光谱效应 | 第35-37页 |
| ·传统的基于拉曼光谱的薄膜热导率测量方法 | 第37-39页 |
| ·高斯激光能量分布 | 第39-40页 |
| ·薄膜-衬底复合结构传热建模 | 第40-49页 |
| ·亚微米/纳米薄膜热导率测量实验 | 第49-56页 |
| ·薄膜试样的制备 | 第49-51页 |
| ·薄膜热导率测量步骤 | 第51-53页 |
| ·薄膜热导率测量结果 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 3 微型热式气体流量传感器的稳态传热模型研究 | 第57-79页 |
| ·微型热式气体流量传感器的传热机理 | 第57-62页 |
| ·对流-导热耦合传热 | 第58-62页 |
| ·微型热式气体流量传感器的稳态传热建模 | 第62-67页 |
| ·假设条件 | 第62-63页 |
| ·控制方程 | 第63-64页 |
| ·边界条件 | 第64-65页 |
| ·无量纲化 | 第65-67页 |
| ·微型热式气体流量传感器的稳态传热数值模拟及结果分析 | 第67-78页 |
| ·离散化 | 第67-69页 |
| ·求解过程 | 第69页 |
| ·结果分析 | 第69-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 4 微型热式气体流量传感器的优化设计 | 第79-93页 |
| ·微型热式气体流量传感器的工作模式设计 | 第79-88页 |
| ·热分布型流量传感器的基本工作模式 | 第79-82页 |
| ·温度平衡工作模式 | 第82-88页 |
| ·传感器的材料选择 | 第88-91页 |
| ·传感器衬底的材料 | 第88-89页 |
| ·传感器绝缘层和保护层的材料 | 第89-90页 |
| ·加热元件的材料 | 第90页 |
| ·温度敏感元件材料 | 第90-91页 |
| ·传感器的结构参数设计 | 第91-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 5 微型热式气体流量传感器的制备工艺及实验测试研究 | 第93-115页 |
| ·微型热式气体流量传感器的MEMS制备工艺 | 第93-108页 |
| ·MEMS基本加工工艺概述 | 第93-96页 |
| ·传感器衬底的制备 | 第96-98页 |
| ·传感器绝缘层和保护层的制备 | 第98-100页 |
| ·传感器绝缘层和保护层的局部刻蚀 | 第100-102页 |
| ·加热元件的制备 | 第102-103页 |
| ·温度敏感元件的制备 | 第103-106页 |
| ·传感器的整体制备步骤 | 第106-108页 |
| ·热式流量传感器的实验测试 | 第108-112页 |
| ·温敏元件为热敏电阻的传感器实验测试结果 | 第108-112页 |
| ·温敏元件为热电堆的传感器实验测试结果 | 第112页 |
| ·本章小结 | 第112-115页 |
| 6 结论与展望 | 第115-119页 |
| 参考文献 | 第119-129页 |
| 攻读博士学位期间主要的研究成果及荣誉 | 第129页 |