| 中文摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-17页 |
| 1.2.1 二维材料基础及应用现状 | 第8-12页 |
| 1.2.2 二维材料气体传感器的研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 二维材料器件制备及测试平台的搭建 | 第19-30页 |
| 2.1 二维材料的制备 | 第19-23页 |
| 2.1.1 微机械剥离法制备二维材料 | 第19-20页 |
| 2.1.2 液相分离法制备二维材料 | 第20-23页 |
| 2.2 二维材料的器件制作工艺 | 第23-26页 |
| 2.2.1 器件基底设计 | 第23页 |
| 2.2.2 材料的转移技术 | 第23-25页 |
| 2.2.3 器件制作工艺 | 第25-26页 |
| 2.3 电学测试系统的搭建调试 | 第26-27页 |
| 2.4 气体测试系统的搭建调试 | 第27-29页 |
| 2.4.1 有机气体测试系统的搭建调试 | 第27-28页 |
| 2.4.2 无机气体测试系统的搭建调试 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 黑磷-化敏栅极气体传感器研究 | 第30-39页 |
| 3.1 BP/BN/MoS_2场效应晶体管设计 | 第31-32页 |
| 3.1.1 二维材料场效应晶体管制备 | 第31-32页 |
| 3.1.2 二维材料场效应晶体管表征 | 第32页 |
| 3.2 MoS_2场效应晶体管性能研究 | 第32-34页 |
| 3.3 黑磷-化敏栅极气体传感性能研究 | 第34-38页 |
| 3.3.1 黑磷-化敏栅极无机气体传感性能研究 | 第34-37页 |
| 3.3.2 黑磷-化敏栅极有机易挥发性气体检测 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 基于石墨烯/PDMS复合材料有机易挥发气体传感研究 | 第39-46页 |
| 4.1 石墨烯及其复合材料的液相制备表征 | 第39-41页 |
| 4.1.1 液相分离法制备石墨烯 | 第39-40页 |
| 4.1.2 石墨烯/PDMS复合材料的液相合成 | 第40-41页 |
| 4.1.3 石墨烯/PDMS复合材料的表征 | 第41页 |
| 4.2 石墨烯/PDMS复合材料的电学测试 | 第41-43页 |
| 4.3 石墨烯/PDMS复合材料的有机易挥发气体测试 | 第43-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 总结与展望 | 第46-49页 |
| 5.1 本文的主要工作 | 第46-47页 |
| 5.2 本文的创新性 | 第47-48页 |
| 5.3 未来工作展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-58页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |