白光干涉原子力探针扫描轮廓仪多模式测量技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.3 研究现状 | 第10-14页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 2 稳健的零级条纹定位算法 | 第16-33页 |
| 2.1 定位算法比较 | 第16-19页 |
| 2.2 干涉信号预处理 | 第19-27页 |
| 2.3 零级条纹定位 | 第27-30页 |
| 2.4 测量结果比较 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 3 基于激光干涉计量的大范围垂直扫描跟踪测量 | 第33-45页 |
| 3.1 跟踪测量流程 | 第33-35页 |
| 3.2 探针自动接触方法 | 第35-38页 |
| 3.3 探针自动标定方法 | 第38-42页 |
| 3.4 数据融合 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 基于单色光干涉的原子力探针扫描可溯源测量 | 第45-55页 |
| 4.1 测量原理 | 第45-47页 |
| 4.2 针尖相位提取 | 第47-52页 |
| 4.3 表面形貌恢复 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 测试与应用实验 | 第55-66页 |
| 5.1 算法准确性和稳健性测试 | 第55-58页 |
| 5.2 大范围跟踪测量实验 | 第58-60页 |
| 5.3 可溯源轮廓测量实验 | 第60-63页 |
| 5.4 应用实验 | 第63-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第66-67页 |
| 6.2 研究展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士学位期间主要成果 | 第73页 |
