三色组合光源光学轮廓仪研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究背景 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外研究概况 | 第10-13页 |
| 1.4 主要工作 | 第13-14页 |
| 2 基于三色组合光源的白光干涉光学轮廓仪原理 | 第14-19页 |
| 2.1 白光干涉测量原理 | 第14-15页 |
| 2.2 垂直扫描白光干涉光学轮廓仪整体框架 | 第15-18页 |
| 2.3 本章小结 | 第18-19页 |
| 3 三色组合光源优化设计 | 第19-33页 |
| 3.1 白光干涉信号建模与仿真 | 第19-20页 |
| 3.2 组合光源干涉信号仿真分析 | 第20-27页 |
| 3.3 三色组合光源结构设计及实验测试 | 第27-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 4 三色组合光源光学轮廓仪表面恢复空间频域算法 | 第33-50页 |
| 4.1 传统白光干涉表面形貌恢复算法分析与比较 | 第33-41页 |
| 4.2 三色组合光源轮廓仪表面恢复空间频域法实现 | 第41-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 自动对焦算法 | 第50-58页 |
| 5.1 常用对焦评价算子分析与比较 | 第50-55页 |
| 5.2 基于灰度方差算子的自动对焦扫描法 | 第55-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 6 测试实验 | 第58-65页 |
| 6.1 与原有白光仪器实验结果对比分析 | 第58-64页 |
| 6.2 本章小结 | 第64-65页 |
| 7 总结与展望 | 第65-67页 |
| 7.1 全文总结 | 第65-66页 |
| 7.2 展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文 | 第72页 |
