片上光阱传感单元的关键技术研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 光阱技术概述 | 第10-11页 |
| 1.2 光阱加速度计的发展 | 第11-13页 |
| 1.3 光阱传感单元的关键技术及研究现状 | 第13-20页 |
| 1.4 研究的意义与内容 | 第20-22页 |
| 2 光阱传感单元的理论基础 | 第22-31页 |
| 2.1 光的力学效应与光阱 | 第22-23页 |
| 2.2 光阱力的理论模型 | 第23-27页 |
| 2.2.1 几何光学模型 | 第24-25页 |
| 2.2.2 Rayleigh近似的电磁模型 | 第25-26页 |
| 2.2.3 电磁散射模型 | 第26-27页 |
| 2.3 基于光阱的加速度传感测量原理 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-31页 |
| 3 片上光阱传感单元的设计与实现 | 第31-50页 |
| 3.1 传感单元的性能分析 | 第31-39页 |
| 3.1.1 捕获光源对传感单元性能的影响 | 第33-37页 |
| 3.1.2 微粒对传感单元性能的影响 | 第37-39页 |
| 3.1.3 光纤对准精度对传感单元性能的影响 | 第39页 |
| 3.2 传感单元的初始捕获分析 | 第39-42页 |
| 3.3 传感单元的设计实现 | 第42-49页 |
| 3.3.1 十字V型槽 | 第42-46页 |
| 3.3.2 封闭微腔结构 | 第46-48页 |
| 3.3.3 毛细管封闭结构 | 第48-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 片上光阱传感单元的实验研究与性能分析 | 第50-60页 |
| 4.1 实验方案 | 第50-53页 |
| 4.1.1 实验参数设置与性能测试方案 | 第50页 |
| 4.1.2 位置探测方案 | 第50-53页 |
| 4.2 初始捕获分析 | 第53-57页 |
| 4.2.1 微粒起振 | 第53-54页 |
| 4.2.2 微粒捕获 | 第54-57页 |
| 4.3 静态稳定性测试 | 第57-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 总结 | 第60页 |
| 5.2 展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 作者简历 | 第66页 |
