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超平坦掺铝银薄膜的生长与特性研究

致谢第5-6页
摘要第6-7页
Abstract第7-8页
1 引言第11-27页
    1.1 银薄膜的基本性质第11页
    1.2 薄膜生长的基本过程第11-17页
        1.2.1 成核阶段第12-15页
        1.2.2 核心合并阶段第15-16页
        1.2.3 厚度生长阶段第16-17页
    1.3 薄膜的制备方法第17-19页
    1.4 薄膜的粗糙机制和动力学标度理论第19-22页
        1.4.1 表面粗糙度的表示方法第19页
        1.4.2 表面粗糙度的动力学标度理论第19-22页
    1.5 有效介质理论(EMT)简介第22-23页
    1.6 银薄膜的研究现状第23-25页
    1.7 本论文的研究内容第25-27页
2 掺铝银薄膜的制备方法和测量手段第27-31页
    2.1 掺铝银薄膜的制备方法第27-28页
    2.2 掺铝银薄膜的测量手段第28-30页
    2.3 本章小结第30-31页
3 摻铝银薄膜的材料特性分析第31-45页
    3.1 掺铝银薄膜的厚度分析第31页
    3.2 掺铝银薄膜的表面形貌第31-36页
        3.2.1 不同掺杂浓度对掺铝银薄膜表面形貌的影响第33-34页
        3.2.2 不同厚度对掺铝银薄膜表面形貌的影响第34-36页
    3.3 掺铝银薄膜的稳定性第36-40页
        3.3.1 掺铝银薄膜的热稳定性第36-37页
        3.3.2 掺铝银薄膜的表面氧化现象与改进方法第37-40页
    3.4 掺铝银薄膜的动力学标度分析第40-42页
    3.5 掺铝银薄膜表面光滑和热稳定性的机制第42-43页
    3.6 本章小结第43-45页
4 掺铝银薄膜的光学特性分析第45-51页
    4.1 Bruggeman有效介质理论第45-47页
    4.2 掺铝银薄膜的光学常数计算第47-49页
    4.3 掺铝银薄膜吸收光谱的测量第49-50页
    4.4 本章小结第50-51页
5 总结与展望第51-53页
参考文献第53-59页
作者简历第59页

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