纳米ZnO厚膜传感器的制备及其丙酮气敏特性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 气体传感器的研究进展 | 第9-12页 |
| 1.2.1 气体传感器的分类 | 第9-10页 |
| 1.2.2 气体传感器的主要技术指标 | 第10-11页 |
| 1.2.3 气体传感器的研究现状和发展趋势 | 第11-12页 |
| 1.3 纳米ZnO材料 | 第12-16页 |
| 1.3.1 纳米ZnO的结构与性质 | 第12-13页 |
| 1.3.2 纳米ZnO材料的主要制备方法 | 第13-15页 |
| 1.3.3 纳米ZnO气敏材料的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 ZnO基丙酮气体传感器的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5 本课题的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 氧化铝掺杂氧化锌气敏材料的制备 | 第18-27页 |
| 2.1 材料制备与元件制作 | 第18-22页 |
| 2.1.1 气敏材料制备 | 第18-20页 |
| 2.1.2 制备工艺对成胶的影响 | 第20-21页 |
| 2.1.3 厚膜气体传感器的制备 | 第21-22页 |
| 2.2 气敏材料的表征与测试方法 | 第22-27页 |
| 2.2.1 XRD表征 | 第22-23页 |
| 2.2.2 SEM表征 | 第23-24页 |
| 2.2.3 UV-Vis光谱测试 | 第24页 |
| 2.2.4 气敏特性测试 | 第24-27页 |
| 第三章 氧化铝掺杂氧化锌厚膜的气敏特性 | 第27-39页 |
| 3.1 掺杂量对材料气敏特性的影响 | 第27-29页 |
| 3.1.1 不同掺杂量样品的XRD表征与分析 | 第27-28页 |
| 3.1.2 不同掺杂量样品的SEM表征与分析 | 第28-29页 |
| 3.1.3 掺杂量对灵敏度的影响 | 第29页 |
| 3.2 元件对不同气体的选择性分析 | 第29-30页 |
| 3.3 退火温度对材料气敏特性的影响 | 第30-32页 |
| 3.3.1 不同退火温度下样品的XRD表征与分析 | 第30-31页 |
| 3.3.2 不同退火温度下样品的SEM表征与分析 | 第31-32页 |
| 3.3.3 退火温度对灵敏度的影响 | 第32页 |
| 3.4 工作温度对材料气敏特性的影响 | 第32-33页 |
| 3.5 元件对不同浓度丙酮气体的气敏特性分析 | 第33-34页 |
| 3.6 老化温度与相对湿度对元件稳定性的影响 | 第34-36页 |
| 3.7 光激发作用对气敏特性的影响 | 第36-39页 |
| 第四章 气敏机理分析 | 第39-44页 |
| 4.1 气敏机理模型 | 第39-40页 |
| 4.2 本课题气敏机理讨论 | 第40-44页 |
| 4.2.1 Al2O3掺杂ZnO对丙酮的敏感机理 | 第40-41页 |
| 4.2.2 光激发增强ZnO材料气敏特性的机理 | 第41-44页 |
| 第五章 结论与展望 | 第44-45页 |
| 5.1 结论 | 第44页 |
| 5.2 展望 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-49页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
