| 摘要 | 第2-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 1 引言 | 第7-21页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第7页 |
| 1.2 高熵合金定义 | 第7-8页 |
| 1.3 高熵合金的特点 | 第8-11页 |
| 1.3.1 高熵合金的四个效应 | 第8-9页 |
| 1.3.2 高熵合金的组织结构 | 第9-10页 |
| 1.3.3 高熵合金的力学性能 | 第10-11页 |
| 1.4 高熵合金薄膜 | 第11-15页 |
| 1.4.1 高熵合金薄膜的发展概况及现状 | 第11-12页 |
| 1.4.2 高熵合金薄膜的制备 | 第12-14页 |
| 1.4.3 高熵合金氮化物薄膜性能特点 | 第14页 |
| 1.4.4 高熵合金多元复合薄膜低温渗氮方法 | 第14-15页 |
| 1.4.5 高熵合金氮化物薄膜的应用 | 第15页 |
| 1.5 高熵合金氮化物薄膜国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.6 研究意义及研究内容 | 第19-21页 |
| 2 实验方法与实验表征 | 第21-26页 |
| 2.1 设备简介 | 第21-22页 |
| 2.2 薄膜的制备 | 第22-24页 |
| 2.2.1 衬底材料的选择及清洗 | 第22-23页 |
| 2.2.2 靶材选择 | 第23-24页 |
| 2.2.3 薄膜制备 | 第24页 |
| 2.3 薄膜的表征 | 第24-26页 |
| 2.3.1 微观结构 | 第24-25页 |
| 2.3.2 表面行貌 | 第25页 |
| 2.3.3 显微硬度及弹性模量表征 | 第25页 |
| 2.3.4 电化学性能表征 | 第25页 |
| 2.3.5 薄膜厚度表征 | 第25-26页 |
| 3 AlCrWTaTiNb多元复合薄膜的组织结构及性能 | 第26-33页 |
| 3.1 基底温度对晶体结构的影响 | 第26-28页 |
| 3.1.1 基底温度对304不锈钢为衬底的复合薄膜晶体结构的影响 | 第26-27页 |
| 3.1.2 基底温度对单晶Si为衬底的复合薄膜晶体结构的影响 | 第27-28页 |
| 3.2 基底温度对机械性能的影响 | 第28-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-33页 |
| 4 渗氮温度对AlCrWTaTiNb多元复合薄膜的组织结构及性能 | 第33-46页 |
| 4.1 渗氮温度对性能及组织结构的影响 | 第33-40页 |
| 4.1.1 渗氮温度对复合薄膜表面形貌的影响 | 第33-34页 |
| 4.1.2 渗氮温度对复合薄膜组织结构的影响 | 第34-36页 |
| 4.1.3 渗氮温度对复合薄膜机械性能的影响 | 第36-38页 |
| 4.1.4 渗氮温度对复合薄膜电化学性能的影响 | 第38-40页 |
| 4.2 渗氮时间对(AlCrWTaTi Nb)N薄膜组织结构及性能的影响 | 第40-45页 |
| 4.2.1 渗氮时间对表面形貌的影响 | 第40-41页 |
| 4.2.2 渗氮时间对复合薄膜机械性能的影响 | 第41-43页 |
| 4.2.3 渗氮时间对电化学性能的影响 | 第43-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
