| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的来源及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题背景及研究的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.3 国内外文献综述 | 第14-15页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 纳飞秒激光与蓝宝石作用的能量耦合模型 | 第17-29页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 纳飞秒激光与蓝宝石相互作用过程 | 第17-18页 |
| 2.3 纳飞秒双束激光作用蓝宝石的能量耦合模型 | 第18-28页 |
| 2.3.1 飞秒激光能量分布 | 第19-21页 |
| 2.3.2 自由电子产生 | 第21-25页 |
| 2.3.3 等离子体光学性质 | 第25-26页 |
| 2.3.4 电子和晶格传热模型 | 第26-27页 |
| 2.3.5 纳秒激光能量耦合 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 纳飞秒激光蚀除蓝宝石过程的数值仿真 | 第29-44页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 仿真模型建立 | 第29-31页 |
| 3.3 数值仿真结果分析 | 第31-42页 |
| 3.3.1 飞秒激光与蓝宝石作用过程仿真结果分析 | 第31-37页 |
| 3.3.2 纳飞秒双束激光与蓝宝石作用仿真结果分析 | 第37-42页 |
| 3.4 仿真模型的试验验证 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 纳飞秒激光蚀除蓝宝石的试验研究 | 第44-63页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 纳飞秒激光加工试验系统搭建 | 第44-47页 |
| 4.2.1 光源 | 第44页 |
| 4.2.2 光路设置 | 第44-46页 |
| 4.2.3 加工装置 | 第46页 |
| 4.2.4 检测设备 | 第46-47页 |
| 4.3 纳飞秒激光烧蚀蓝宝石微孔加工试验 | 第47-51页 |
| 4.3.1 飞秒激光烧蚀蓝宝石微孔加工试验 | 第47-49页 |
| 4.3.2 纳飞秒双束激光烧蚀蓝宝石微孔加工试验 | 第49-51页 |
| 4.4 纳飞秒激光烧蚀蓝宝石微槽加工试验 | 第51-61页 |
| 4.4.1 飞秒激光烧蚀蓝宝石微槽加工试验 | 第51-56页 |
| 4.4.2 纳飞秒双束激光烧蚀蓝宝石微槽加工试验 | 第56-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |