| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 压电效应与压电驱动器 | 第13-15页 |
| 1.2.1 压电效应 | 第13-14页 |
| 1.2.2 压电驱动器 | 第14-15页 |
| 1.3 压电驱动器国内外研究现状 | 第15-25页 |
| 1.3.1 压电超声电机 | 第15-19页 |
| 1.3.2 尺蠖式压电驱动器 | 第19-21页 |
| 1.3.3 惯性压电驱动器 | 第21-25页 |
| 1.4 本文研究意义及主要研究内容 | 第25-28页 |
| 第2章 压电单晶片振子结构优化与仿真分析 | 第28-56页 |
| 2.1 压电方程与压电单晶片振子振动模式、支撑模式 | 第28-30页 |
| 2.2 压电单晶片振子结构参数优化与有限元仿真 | 第30-41页 |
| 2.2.1 压电单晶片振子结构参数优化 | 第30-40页 |
| 2.2.2 压电单晶片振子有限元仿真 | 第40-41页 |
| 2.3 压电单晶片振子动力学分析与仿真 | 第41-54页 |
| 2.3.1 压电单晶片振子振动微分方程 | 第41-45页 |
| 2.3.2 压电单晶片振子动力学模型 | 第45-51页 |
| 2.3.3 压电单晶片振子Simulink仿真 | 第51-54页 |
| 2.4 本章小节 | 第54-56页 |
| 第3章 压电单晶片振子性能测试 | 第56-62页 |
| 3.1 压电单晶片振子制作 | 第56页 |
| 3.2 压电单晶片振子性能测试 | 第56-61页 |
| 3.3 本章小节 | 第61-62页 |
| 第4章 直线惯性压电驱动器结构设计与样机制作 | 第62-80页 |
| 4.1 直线惯性压电驱动器结构设计与受力分析 | 第62-67页 |
| 4.1.1 直线惯性压电驱动器结构设计 | 第62-63页 |
| 4.1.2 直线惯性压电驱动器受力分析 | 第63-67页 |
| 4.2 直线惯性压电驱动器动力学建模与样机制作 | 第67-76页 |
| 4.2.1 直线惯性压电驱动器动力学建模 | 第67-71页 |
| 4.2.2 直线惯性压电驱动器样机制作 | 第71-76页 |
| 4.3 直线惯性压电驱动器样机Simulink仿真 | 第76-79页 |
| 4.4 本章小节 | 第79-80页 |
| 第5章 直线惯性压电驱动器样机性能测试 | 第80-88页 |
| 5.1 直线惯性压电驱动器样机性能测试 | 第80-87页 |
| 5.2 本章小节 | 第87-88页 |
| 第6章 结论与展望 | 第88-92页 |
| 6.1 结论 | 第88-90页 |
| 6.2 未来研究展望 | 第90-92页 |
| 附录 | 第92-96页 |
| 参考文献 | 第96-102页 |
| 作者简介及学术成果 | 第102-103页 |
| 致谢 | 第103页 |