| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第1章 引言 | 第9-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 选题依据及背景 | 第9-11页 |
| 1.3 本课题研究的目的与意义 | 第11页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第14-17页 |
| 第2章PZT的驱动方法研究及步距算法 | 第17-33页 |
| 2.1 PZT的驱动特性 | 第18-19页 |
| 2.2 基于FPGA的PZT驱动系统 | 第19-28页 |
| 2.2.1 基于VERILOG HDL的串口模块设计 | 第20-23页 |
| 2.2.2 基于FPGA的AD5628 数模转换控制 | 第23-26页 |
| 2.2.3 积分放大电路 | 第26-28页 |
| 2.3 PZT步距高精度获取方法 | 第28-32页 |
| 2.3.1 PZT驱动步长的算法 | 第29-30页 |
| 2.3.2 算法内容 | 第30-32页 |
| 2.4 精度分析 | 第32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 波长轮换系统方法研究 | 第33-42页 |
| 3.1 波长轮换方案设计 | 第33-36页 |
| 3.1.1 多波长干涉测量方法研究 | 第33-35页 |
| 3.1.2 波长轮换结构设计 | 第35-36页 |
| 3.2 基于FPGA的波长轮换控制方法 | 第36-41页 |
| 3.2.1 步进电机的技术指标 | 第36-38页 |
| 3.2.2 FPGA与上位机的通讯 | 第38页 |
| 3.2.3 基于FPGA的步进电机驱动方法 | 第38-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 二维工作台驱动控制 | 第42-47页 |
| 4.1 二维工作台的概述 | 第42页 |
| 4.2 二维工作台的选型 | 第42-43页 |
| 4.3 基于FPGA的控制系统 | 第43-46页 |
| 4.3.1 光栅尺的选用 | 第44-45页 |
| 4.3.2 方向运动的控制模块 | 第45-46页 |
| 4.4 本章小节 | 第46-47页 |
| 第5章 控制系统的整体实现方法 | 第47-52页 |
| 5.1 控制系统设计 | 第47页 |
| 5.2 图像采集系统 | 第47-49页 |
| 5.2.1 图像采集控制 | 第48页 |
| 5.2.2 图像采集软件设计 | 第48-49页 |
| 5.3 波长轮换、相移扫描和图像采集的同步控制 | 第49-50页 |
| 5.4 干涉图像采集结果 | 第50-51页 |
| 5.5 本章小节 | 第51-52页 |
| 第6章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 6.1 全文总结 | 第52页 |
| 6.2 全文展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第59页 |