| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 仿真分析的意义 | 第10页 |
| 1.3 研究内容综述 | 第10-15页 |
| 1.3.1 干涉仪测量系统仿真方法综述 | 第10-12页 |
| 1.3.2 信号质量综述 | 第12-13页 |
| 1.3.3 光栅角度转动对信号质量的影响综述 | 第13-14页 |
| 1.3.4 光学系统公差综述 | 第14-15页 |
| 1.4 主要研究内容和章节结构 | 第15-17页 |
| 第二章 二自由度光栅干涉仪结构及ZEMAX仿真 | 第17-37页 |
| 2.1 二自由度光栅干涉仪位移测量系统 | 第17-25页 |
| 2.1.1 基于衍射光栅的干涉测量原理 | 第17-19页 |
| 2.1.2 二自由度光栅干涉仪结构 | 第19-22页 |
| 2.1.3 光栅干涉仪位移解算原理 | 第22-23页 |
| 2.1.4 光栅干涉仪位移测量验证实验 | 第23-25页 |
| 2.2 ZEMAX仿真方法 | 第25-36页 |
| 2.2.1 光栅干涉仪仿真模型 | 第25-29页 |
| 2.2.2 信号对比度仿真方法 | 第29-30页 |
| 2.2.3 位移测量仿真方法 | 第30-33页 |
| 2.2.4 信号对比度仿真验证实验 | 第33-36页 |
| 2.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 光栅角度转动影响分析 | 第37-43页 |
| 3.1 光栅角度转动类型 | 第37-39页 |
| 3.2 光栅角度转动对信号对比度的影响分析 | 第39-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 光栅干涉仪的公差评价与公差优化分配 | 第43-63页 |
| 4.1 测量读数头中光学元件角度偏差分析 | 第43-47页 |
| 4.1.1 光学元件公差介绍 | 第43页 |
| 4.1.2 测量读数头中光学元件的角度偏差 | 第43-47页 |
| 4.2 基于蒙特卡洛模拟的光栅干涉仪公差评价方法 | 第47-55页 |
| 4.2.1 测量读数头中光学元件的初始公差带 | 第47-52页 |
| 4.2.2 基于蒙特卡洛模拟的公差评价 | 第52-55页 |
| 4.3 基于BP神经网络和最小加工难度的光栅干涉仪公差优化分配 | 第55-61页 |
| 4.3.1 基于BP神经网络的信号对比度与公差关系拟合 | 第55-57页 |
| 4.3.2 基于最小加工难度的公差优化分配 | 第57-61页 |
| 4.4 光栅干涉仪整体公差优化分配 | 第61-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 主要结论 | 第63-64页 |
| 5.2 后续研究展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |