| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题的意义与目的 | 第9-10页 |
| 1.3 硅片检测运动平台结构设计的发展与研究现状 | 第10-16页 |
| 1.4 论文主要研究内容及章节安排 | 第16-18页 |
| 2 运动平台垂向精密运动机构的功能分析与方案设计 | 第18-28页 |
| 2.1 硅片检测系统的工作原理与流程 | 第18-21页 |
| 2.2 硅片检测运动平台的设计要求与分析 | 第21-23页 |
| 2.3 硅片检测运动平台的结构方案设计 | 第23-26页 |
| 2.4 硅片检测运动平台垂向精密运动机构的电气结构 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 运动平台垂向精密运动机构关键部件设计、选型与分析 | 第28-43页 |
| 3.1 驱动装置的选择 | 第28-33页 |
| 3.2 重力平衡装置 | 第33-37页 |
| 3.3 导轨的选用、分析与校核 | 第37-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 运动平台垂向精密运动机构控制系统的设计 | 第43-60页 |
| 4.1 音圈电机的数学模型 | 第43-45页 |
| 4.2 垂向控制系统的设计与仿真 | 第45-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 实验结果及分析 | 第60-66页 |
| 5.1 实验装置和方法 | 第60-61页 |
| 5.2 实验结果及分析 | 第61-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-66页 |
| 6 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 全文总结 | 第66页 |
| 6.2 研究展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |