柔性薄膜卷绕输送系统纠偏机理分析与应用

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
1 绪论	第8-16页
1.1 课题来源	第8页
1.2 课题背景、目的及意义	第8-10页
1.3 国内外研究状况	第10-14页
1.4 本文主要研究内容	第14-16页
2 薄膜纠偏对电子器件剪应力及定位精度的影响	第16-27页
2.1 DR1075 型纠偏装置介绍	第16-20页
2.2 薄膜纠偏对芯片剪应力的影响	第20-25页
2.3 薄膜纠偏对电子器件定位精度的影响	第25-26页
2.4 本章小结	第26-27页
3 框架结构参数对纠偏效果的分析	第27-37页
3.1 双辊模型	第27-29页
3.2 薄膜横向偏移一阶动力学模型	第29-30页
3.3 结构参数对纠偏效果的影响	第30-36页
3.4 本章小结	第36-37页
4 薄膜参数对纠偏效果的分析	第37-50页
4.1 薄膜横向挠曲微分方程	第37-40页
4.2 薄膜横向偏移二阶动力学模型	第40-46页
4.3 KH 值的频率特性分析	第46-48页
4.4 张力对纠偏效果的影响	第48-49页
4.5 本章小结	第49-50页
5 纠偏影响因素的实验验证	第50-59页
5.1 实验平台搭建	第50-54页
5.2 实验内容及结果分析	第54-58页
5.3 本章小结	第58-59页
6 总结与展望	第59-61页
6.1 总结	第59页
6.2 展望	第59-61页
致谢	第61-62页
参考文献	第62-66页
附录 攻读硕士学位期间申请专利目录	第66页