| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 MEMS微机电系统简介 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS微谐振器概述 | 第12-15页 |
| 1.3 非常态环境下MEMS谐振器的动态性能及研究现状 | 第15-19页 |
| 1.4 研究目标及主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 微谐振器结构设计及仿真 | 第21-45页 |
| 2.1 微谐振器的基本工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2 微谐振器温度敏感结构设计及仿真 | 第22-39页 |
| 2.3 微谐振器阻尼敏感结构设计 | 第39-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-45页 |
| 第三章 微谐振器制备工艺研究 | 第45-63页 |
| 3.1 整体工艺设计 | 第45-47页 |
| 3.2 温度敏感结构制备 | 第47-61页 |
| 3.3 阻尼敏感结构制备 | 第61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 非常态环境下谐振器谐振特性测试 | 第63-77页 |
| 4.1 微谐振器测试简介 | 第63页 |
| 4.2 不同温度环境下微谐振器的谐振频率测试 | 第63-72页 |
| 4.3 不同压力环境下微谐振器Q值测试 | 第72-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-77页 |
| 第五章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 5.1 工作总结 | 第77-78页 |
| 5.2 前景展望 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 硕士期间科研成果 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |