| 致谢 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 太赫兹量子级联激光器（THz-QCL） | 第11-16页 |
| 1.3 单模太赫兹量子级联激光器的研究概况 | 第16-18页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第18页 |
| 1.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 二阶THz-DFB-QCL原理与存在的问题及实验设计 | 第19-23页 |
| 2.1 分布反馈激光器的原理 | 第19-21页 |
| 2.2 目前二阶THz-DFB-QCL存在的问题 | 第21-22页 |
| 2.3 实验设计 | 第22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 针对GaAs的ICP刻蚀研究 | 第23-37页 |
| 3.1 刻蚀简介 | 第23-25页 |
| 3.2 电感耦合等离子体刻蚀简介 | 第25-27页 |
| 3.2.1 刻蚀系统 | 第25-26页 |
| 3.2.2 ICP刻蚀参数对刻蚀影响 | 第26-27页 |
| 3.3 GaAs的ICP刻蚀条件优化 | 第27-35页 |
| 3.3.1：ICP设备的准备 | 第28-29页 |
| 3.3.2：刻蚀工艺的优化 | 第29-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 二级THz-DFB-QCL的制备和测试原理 | 第37-45页 |
| 4.1 二级THz-DFB-QCL的制备 | 第37-42页 |
| 4.2 THz-DFB-QCL的测试 | 第42-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 结果与分析 | 第45-53页 |
| 5.1 波长与光栅周期的关系 | 第45页 |
| 5.2 光栅狭缝数目对激光器模式稳定性的影响 | 第45-49页 |
| 5.3 狭缝数目对输出功率的影响 | 第49-50页 |
| 5.4 狭缝数目对激光器最高工作温度的影响 | 第50-51页 |
| 5.5 狭缝数目对激光器阈值电流密度的影响 | 第51-52页 |
| 5.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 总结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第59页 |