基于ARM的傅里叶变换光谱仪干涉系统控制研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.1.1 傅里叶光谱学技术 | 第10-11页 |
| 1.1.2 傅里叶变换光谱仪经典干涉系统 | 第11页 |
| 1.2 傅里叶变换光谱仪干涉系统的技术发展与现状 | 第11-14页 |
| 1.3 研究难点和意义 | 第14-15页 |
| 1.3.1 研究难点 | 第14页 |
| 1.3.2 研究意义 | 第14-15页 |
| 1.4 论文结构 | 第15-17页 |
| 2 光谱仪干涉系统光路与机械结构设计 | 第17-32页 |
| 2.1 系统整体结构 | 第17-18页 |
| 2.2 光学系统结构 | 第18-21页 |
| 2.2.1 干涉系统基本原理 | 第18-20页 |
| 2.2.2 干涉系统光路结构 | 第20-21页 |
| 2.3 动镜控制系统 | 第21-26页 |
| 2.3.1 动镜支撑机械结构 | 第21-23页 |
| 2.3.2 动镜驱动原理 | 第23-26页 |
| 2.4 定镜二维动态校正系统 | 第26-31页 |
| 2.4.1 定镜动态校正系统误差分析 | 第26-28页 |
| 2.4.2 电磁致动系统工作原理 | 第28-30页 |
| 2.4.3 定镜二维调整机械结构 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 硬件系统设计 | 第32-48页 |
| 3.1 硬件总体结构 | 第32-33页 |
| 3.2 激光检测模块 | 第33-37页 |
| 3.2.1 四象限激光检测器 | 第33-34页 |
| 3.2.2 四象限激光检测电路 | 第34-36页 |
| 3.2.3 零点检测电路 | 第36-37页 |
| 3.3 干涉仪一体化控制电路设计 | 第37-43页 |
| 3.3.1 干涉仪一体化控制电路总体结构 | 第37-38页 |
| 3.3.2 控制电路芯片选型 | 第38页 |
| 3.3.3 电源支持模块 | 第38-39页 |
| 3.3.4 干涉仪动镜驱动模块 | 第39-41页 |
| 3.3.5 干涉仪定镜驱动模块 | 第41-43页 |
| 3.4 CPLD硬件开发 | 第43-47页 |
| 3.4.1 信号处理原理 | 第43-45页 |
| 3.4.2 相位采集子模块 | 第45-46页 |
| 3.4.3 三路DA片选逻辑控制 | 第46-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 软件系统设计 | 第48-56页 |
| 4.1 软件总体流程设计 | 第48-49页 |
| 4.2 动镜控制软件设计 | 第49-53页 |
| 4.2.1 动镜控制软件流程图 | 第49-50页 |
| 4.2.2 动镜运动过程中摩擦力补偿方法 | 第50-51页 |
| 4.2.3 增量式PID控制策略 | 第51-53页 |
| 4.3 定镜动态校正算法 | 第53-54页 |
| 4.4 PID控制参数的调节 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 实验数据分析 | 第56-65页 |
| 5.1 干涉系统准直性分析 | 第56-59页 |
| 5.1.1 干涉系统调制度分析 | 第56-57页 |
| 5.1.2 干涉系统相位差分析 | 第57-59页 |
| 5.2 动镜运动速度控制评估 | 第59-60页 |
| 5.3 定镜相位误差校正精度评估 | 第60-63页 |
| 5.4 系统准直性数据分析 | 第63-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 6 总结与展望 | 第65-68页 |
| 6.1 创新点小结 | 第65页 |
| 6.2 总结 | 第65-66页 |
| 6.3 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 硕士期间参与的科研项目、研究成果 | 第72-73页 |
| 硕士期间参与的科研项目 | 第72页 |
| 硕士期间研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
