| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 铟资源的分布、应用及现状 | 第12-15页 |
| 1.1.1 铟的分布与产量 | 第12页 |
| 1.1.2 铟的主要用途 | 第12-14页 |
| 1.1.3 铟资源国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2 ITO陶瓷靶材制备方法 | 第15-26页 |
| 1.2.1 ITO靶材的简介 | 第15-16页 |
| 1.2.2 ITO靶材的研究和应用的现状 | 第16-17页 |
| 1.2.3 ITO素坯的成形方法 | 第17-23页 |
| 1.2.4 ITO靶材的烧结方法 | 第23-26页 |
| 1.3 ITO靶材的市场需求与供应、发展趋势 | 第26-28页 |
| 1.3.1 ITO靶材目前市场需求与供应 | 第26-27页 |
| 1.3.2 ITO靶材的发展趋势 | 第27-28页 |
| 1.4 论文研究目的、意义及主要内容 | 第28-29页 |
| 1.4.1 论文研究目的和意义 | 第28页 |
| 1.4.2 论文主要内容 | 第28-29页 |
| 1.5 论文课题来源 | 第29页 |
| 1.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第二章 技术路线及实验方案 | 第30-40页 |
| 2.1 技术路线 | 第30页 |
| 2.2 实验原料及药品 | 第30-31页 |
| 2.3 所用实验设备及性能检测仪器 | 第31-32页 |
| 2.3.1 所用实验设备 | 第31页 |
| 2.3.2 所用检测仪器 | 第31-32页 |
| 2.4 ITO靶材的制备过程 | 第32-34页 |
| 2.4.1 制浆实验 | 第32-33页 |
| 2.4.2 注浆成形实验 | 第33页 |
| 2.4.3 脱脂实验 | 第33页 |
| 2.4.4 烧结实验 | 第33-34页 |
| 2.5 样品分析 | 第34-38页 |
| 2.5.1 致密度的测定 | 第34页 |
| 2.5.2 形貌及元素组分分析 | 第34页 |
| 2.5.3 物相分析 | 第34-35页 |
| 2.5.4 电阻率的测定 | 第35-36页 |
| 2.5.5 纯度分析 | 第36页 |
| 2.5.6 粘度值的测量 | 第36页 |
| 2.5.7 沉降高度值的测量 | 第36-37页 |
| 2.5.8 正交试验的极差分析 | 第37-38页 |
| 2.6 本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 ITO粉体制浆工艺 | 第40-46页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 实验原料的表征和制浆实验 | 第40-42页 |
| 3.2.1 实验原料的表征 | 第40-42页 |
| 3.2.2 制浆实验 | 第42页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第42-45页 |
| 3.3.1 固相含量对浆料沉降高度值和粘度值的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.2 分散剂用量对浆料沉降高度值和粘度值的影响 | 第43-44页 |
| 3.3.3 搅拌时间对浆料沉降高度值和粘度值的影响 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 ITO初坯的制备 | 第46-56页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 注浆成形实验 | 第46-47页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第47-53页 |
| 4.3.1 成形压力对ITO初坯致密度和SEM微观形貌的影响 | 第47-49页 |
| 4.3.2 成形时间对ITO初坯致密度和SEM微观形貌的影响 | 第49-50页 |
| 4.3.3 ITO初坯低温脱脂工艺实验研究 | 第50-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-56页 |
| 第五章 氧气气氛烧结工艺的研究 | 第56-70页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 ITO靶材烧结工艺 | 第56-59页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第59-68页 |
| 5.3.1 烧结温度对ITO靶材组织和性能影响 | 第59-61页 |
| 5.3.2 升温速率对ITO靶材组织和性能影响 | 第61-63页 |
| 5.3.3 烧结时间对ITO靶材组织和性能影响 | 第63-65页 |
| 5.3.4 氧气气氛压力值对ITO靶材组织和性能影响 | 第65-67页 |
| 5.3.5 最佳气氛烧结法制备的ITO靶材的物相分析 | 第67-68页 |
| 5.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第六章 结论及展望 | 第70-72页 |
| 6.1 结论 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-80页 |
| 附录：攻读硕士期间发表论文及获得奖励 | 第80页 |
