LSPR接触光刻探针的力学状态分析及其实验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第11页 |
| 1.2 局域表面等离子体概述 | 第11-15页 |
| 1.2.1 局域表面等离子体产生原理 | 第12页 |
| 1.2.2 表面等离子体激发方式 | 第12-15页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.1 基于局域表面等离子体接触光刻研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3.2 接触光刻探针力学状态研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 论文研究来源及章节安排 | 第17-19页 |
| 第二章 LSPR接触光刻探针的力学状态分析 | 第19-25页 |
| 2.1 探针的结构及工作模式 | 第19-21页 |
| 2.1.1 探针结构 | 第19-20页 |
| 2.1.2 探针工作过程介绍 | 第20-21页 |
| 2.2 探针工作过程中的力学状态 | 第21-23页 |
| 2.2.1 光刻对探针力学状态的要求 | 第21-22页 |
| 2.2.2 影响探针力学状态的因素 | 第22-23页 |
| 2.3 探针力学结构优化问题的提出 | 第23-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 探针力学结构的优化及探针力学状态仿真分析 | 第25-43页 |
| 3.1 优化方法简介 | 第25页 |
| 3.2 圆形铰链结构参数优化 | 第25-34页 |
| 3.2.1 圆形铰链臂寛 | 第27-31页 |
| 3.2.2 圆形铰链厚度 | 第31-34页 |
| 3.3 探针结构参数优化 | 第34-37页 |
| 3.3.1 探针高度 | 第34-36页 |
| 3.3.2 探针工艺尺寸 | 第36-37页 |
| 3.4 探针力学结构的许可量分析 | 第37-39页 |
| 3.4.1 圆形铰链塑性失效分析 | 第37-38页 |
| 3.4.2 光刻胶面失效分析 | 第38-39页 |
| 3.5 外界因素对探针力学状态的影响分析 | 第39-42页 |
| 3.5.1 摩擦系数影响分析 | 第40页 |
| 3.5.2 扫描速度影响分析 | 第40-41页 |
| 3.5.3 扫描行程影响分析 | 第41-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 探针力学状态实验平台的搭建及装配误差分析 | 第43-55页 |
| 4.1 实验平台整体简介 | 第43-44页 |
| 4.2 实验平台主要机械部分搭建 | 第44-49页 |
| 4.2.1 探针悬持模块 | 第44-46页 |
| 4.2.2 检测部分机械搭建 | 第46-48页 |
| 4.2.3 驱动模块部分 | 第48-49页 |
| 4.3 装配误差分析 | 第49-54页 |
| 4.3.1 误差分析数学模型 | 第49-53页 |
| 4.3.2 误差计算 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 探针力学状态研究实验 | 第55-73页 |
| 5.1 实验介绍 | 第55-57页 |
| 5.1.1 实验主体器件参数介绍 | 第55-56页 |
| 5.1.2 实验过程介绍 | 第56-57页 |
| 5.2 初步调平与检测工具标定 | 第57-59页 |
| 5.2.1 初步调平 | 第57-58页 |
| 5.2.2 检测工具标定 | 第58-59页 |
| 5.3 寻找探针接触点 | 第59-60页 |
| 5.4 寻找探针站正点 | 第60-66页 |
| 5.4.1 接近模式站正点寻找法 | 第61-64页 |
| 5.4.2 扫描模式站正点寻找法 | 第64-66页 |
| 5.5 外界因素对探针力学状态影响实验 | 第66-69页 |
| 5.5.1 扫描速度的影响 | 第67-68页 |
| 5.5.2 扫描行程的影响 | 第68-69页 |
| 5.6 探针力学结构对探针力学状态影响实验 | 第69-71页 |
| 5.6.1 优化前后的铰链对偏角影响 | 第69页 |
| 5.6.2 优化前后的探针高对偏角影响 | 第69-70页 |
| 5.6.3 优化后的探针力学结构 | 第70-71页 |
| 5.7 本章小结 | 第71-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 全文总结 | 第73-74页 |
| 6.2 展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第80-81页 |
