新型微气敏传感器的设计、仿真及优化
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 传感器概述 | 第12-13页 |
| 1.2 气敏传感器 | 第13-20页 |
| 1.2.1 气敏传感器的研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2.2 气敏传感器的分类与原理 | 第14-18页 |
| 1.2.3 气敏传感器的应用及发展 | 第18-20页 |
| 1.3 微结构气敏传感器 | 第20-22页 |
| 1.3.1 微电子机械系统 | 第20页 |
| 1.3.2 基于MEMS技术的微气敏传感器 | 第20-21页 |
| 1.3.3 微气敏传感器的发展前景 | 第21-22页 |
| 1.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 ANSYS有限元分析 | 第23-29页 |
| 2.1 ANSYS基本介绍 | 第23-24页 |
| 2.2 ANSYS的常用功能简介 | 第24-25页 |
| 2.3 ANSYS稳态热场分析 | 第25-27页 |
| 2.4 ANSYS静态磁场分析 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 新型微气敏传感器微热板的设计、仿真及优化 | 第29-46页 |
| 3.1 Ⅰ型微气敏传感器微热板的设计、仿真及优化 | 第29-34页 |
| 3.1.1 微热板的结构设计 | 第29-30页 |
| 3.1.2 基底参数的优化 | 第30-31页 |
| 3.1.3 加热电极的优化 | 第31-32页 |
| 3.1.4 测量电极的优化 | 第32-33页 |
| 3.1.5 微热板的磁场分析 | 第33-34页 |
| 3.2 Ⅱ型微气敏传感器微热板的设计、仿真及优化 | 第34-40页 |
| 3.2.1 微热板电极结构的设计 | 第34-35页 |
| 3.2.2 基底结构的优化 | 第35-36页 |
| 3.2.3 加热电极的优化 | 第36-38页 |
| 3.2.4 测量电极的优化 | 第38-39页 |
| 3.2.5 微热板的磁场分析 | 第39-40页 |
| 3.3 Ⅲ型微气敏传感器微热板的设计、仿真及优化 | 第40-43页 |
| 3.3.1 微热板结构设计 | 第40页 |
| 3.3.2 加热电极的优化 | 第40-42页 |
| 3.3.3 测量电极的优化 | 第42-43页 |
| 3.3.4 微热板的磁场分析 | 第43页 |
| 3.4 三种新型微气敏传感器微热板的比较 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 二氧化锡微气敏传感器 | 第46-52页 |
| 4.1 二氧化锡简介及其气敏特性 | 第46-48页 |
| 4.2 Ⅰ型二氧化锡微气敏传感器的热场分析 | 第48-49页 |
| 4.3 Ⅱ型二氧化锡微气敏传感器的热场分析 | 第49页 |
| 4.4 Ⅲ型二氧化锡微气敏传感器的热场分析 | 第49-50页 |
| 4.5 三种结构的二氧化锡传感器的热场比较 | 第50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 总结 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 附录 各种材料的特性参数 | 第58-59页 |
| 作者简介及科研成果 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
