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关于高性能硅基TFET晶体管的研究与结构优化

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-14页
    1.1 引言第9-12页
    1.2 论文课题研究的意义第12页
    1.3 本课题的主要工作第12-14页
第2章 传统半导体晶体管的简介第14-19页
    2.1 PN二极管的结构和工作原理第14-15页
        2.1.1 PN二极管的基本结构第14页
        2.1.2 PN二极管的基本工作原理第14-15页
    2.2 MOSFET晶体管第15-19页
        2.2.1 MOSFET的基础理论第15页
        2.2.2 MOSFET管子的基本结构和工作原理第15-16页
        2.2.3 MOSFET的亚阈值特性第16-19页
第3章 隧穿效应及TFET器件基本结构第19-24页
    3.1 隧穿效应第19页
    3.2 隧穿几率第19-21页
    3.3 TFET基本结构第21-24页
第4章 TFET器件性能分析与结构优化第24-51页
    4.1 源、漏、本征区浓度参数对电学特性的影响第24-29页
    4.2 栅极宽度变化对隧穿场效应晶体管电学特性的影响第29-34页
    4.3 使用不同介电常数绝缘材料对隧穿场效应晶体管进行优化第34-40页
    4.4 PI结势垒区平行于栅极边缘对隧穿场效应晶体管性能的影响第40-45页
    4.5 利用金属源区改进隧穿场效应晶体管的电学特性第45-48页
    4.6 本章小结第48-51页
第5章 结论第51-53页
参考文献第53-56页
在学研究成果第56-57页
致谢第57页

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