| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 存储器的简介 | 第9页 |
| 1.1.1 易失性存储器 | 第9页 |
| 1.1.2 非易失性存储器 | 第9页 |
| 1.2 新型非易失性存储器的研究 | 第9-11页 |
| 1.2.1 铁电随机存储器 | 第10页 |
| 1.2.2 相变存储器 | 第10页 |
| 1.2.3 磁阻随机存储器 | 第10-11页 |
| 1.2.4 阻变存储器 | 第11页 |
| 1.3 阻变存储器的研究 | 第11-17页 |
| 1.3.1 电阻转化效应简介 | 第11-12页 |
| 1.3.2 阻变介质材料 | 第12-13页 |
| 1.3.3 深紫外光化学活化法制备二元氧化物阻变材料的机理 | 第13-14页 |
| 1.3.4 阻变存储器的电阻转换机理 | 第14-16页 |
| 1.3.5 阻变存储器的导电机制 | 第16-17页 |
| 1.4 本文的选题依据及研究内容 | 第17-19页 |
| 2 实验方案与分析表征方法 | 第19-27页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 实验方案设计 | 第19-20页 |
| 2.2.1 实验流程 | 第19-20页 |
| 2.2.2 实验材料 | 第20页 |
| 2.2.3 器件的电极材料选择 | 第20页 |
| 2.3 实验设备及制备流程 | 第20-23页 |
| 2.3.1 镀膜设备 | 第20-21页 |
| 2.3.2 深紫外辐照设备 | 第21-22页 |
| 2.3.3 其他常用设备 | 第22页 |
| 2.3.4 器件的制备 | 第22-23页 |
| 2.4 实验分析表征方法 | 第23-27页 |
| 2.4.1 Keithley 2602A | 第23-24页 |
| 2.4.2 金相显微镜 | 第24页 |
| 2.4.3 激光共聚焦显微镜 | 第24页 |
| 2.4.4 紫外-可见分光光度计 | 第24页 |
| 2.4.5 红外分光光度计 | 第24-27页 |
| 3 TiO_2/ITO阻变器件的研究 | 第27-37页 |
| 3.1 TiO_2前驱溶液配方研究 | 第27-28页 |
| 3.2 TiO_2薄膜辐照工艺的研究 | 第28-30页 |
| 3.2.1 辐照时间的研究 | 第28-29页 |
| 3.2.2 辐照温度的研究 | 第29-30页 |
| 3.3 Pt/TiO_2/ITO阻变器件的性能研究 | 第30-33页 |
| 3.3.1 Pt/TiO_2/ITO器件的I-V曲线 | 第30-31页 |
| 3.3.2 Pt/TiO_2/ITO器件的导电机制分析 | 第31页 |
| 3.3.3 Pt/TiO_2/ITO器件的保持特性和循环特性 | 第31-33页 |
| 3.4 顶电极对TiO_2/ITO器件的影响 | 第33-36页 |
| 3.5 结论 | 第36-37页 |
| 4 TiO_2和ZrO_2柔性阻变存储器性能的研究 | 第37-49页 |
| 4.1 Pt/TiO_2/ITO/PET阻变器件的研究 | 第37-42页 |
| 4.1.1 Pt/TiO_2/ITO/PET器件的I-V曲线 | 第37-38页 |
| 4.1.2 Pt/TiO_2/ITO/PET器件的导电机制分析 | 第38页 |
| 4.1.3 不同弯曲半径对Pt/TiO_2/ITO/PET器件性能的影响 | 第38-40页 |
| 4.1.4 不同弯曲次数对Pt/TiO_2/ITO/PET器件性能的影响 | 第40-42页 |
| 4.2 Pt/ZrO_2/ITO/PET阻变器件的研究 | 第42-47页 |
| 4.2.1 ZrO_2前驱溶液的配制 | 第42页 |
| 4.2.2 Pt/ZrO_2/ITO/PET器件的I-V曲线 | 第42-43页 |
| 4.2.3 Pt/ZrO_2/ITO/PET器件的导电机制分析 | 第43页 |
| 4.2.4 不同弯曲半径对Pt/ZrO_2/ITO/PET器件性能的影响 | 第43-45页 |
| 4.2.5 不同弯曲次数对Pt/ZrO_2/ITO/PET器件性能的影响 | 第45-47页 |
| 4.3 结论 | 第47-49页 |
| 5 微细图形化TiO_2和ZrO_2阻变存储器的研究 | 第49-59页 |
| 5.1 微细图形化阻变存储器的制备 | 第49-50页 |
| 5.2 微细图形化Pt/TiO_2/ITO/PET器件的研究 | 第50-54页 |
| 5.2.1 TiO_2前驱液的配制和感光性能的研究 | 第50-52页 |
| 5.2.2 TiO_2薄膜的微细图形制备 | 第52页 |
| 5.2.3 Pt/TiO_2/ITO/PET器件的研究 | 第52-54页 |
| 5.3 微细图形化Pt/ZrO_2/ITO/PET器件的研究 | 第54-58页 |
| 5.3.1 ZrO_2前驱液的配制和感光性能的研究 | 第54-56页 |
| 5.3.2 ZrO_2薄膜的微细图形制备 | 第56-57页 |
| 5.3.3 Pt/ZrO_2/ITO/PET器件的研究 | 第57-58页 |
| 5.4 结论 | 第58-59页 |
| 6 结论 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者在硕士期间发表的论文 | 第67页 |
