| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 金属氧化物半导体气体传感器及其发展 | 第8-11页 |
| 1.2 微热板上制备SnO_2气敏薄膜的方法 | 第11-12页 |
| 1.3 膜厚对气体传感器的影响及其研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 本文主要工作内容 | 第14-15页 |
| 2 SnO_2气体传感器及相关理论 | 第15-22页 |
| 2.1 SnO_2薄膜的敏感机理 | 第15-17页 |
| 2.2 SnO_2气体传感器主要特性 | 第17-20页 |
| 2.2.1 传感器气敏电阻R_a和R_g | 第17页 |
| 2.2.2 初期稳定特性 | 第17-18页 |
| 2.2.3 灵敏度 | 第18页 |
| 2.2.4 响应时间 | 第18-19页 |
| 2.2.5 恢复时间 | 第19页 |
| 2.2.6 选择性 | 第19页 |
| 2.2.7 长期稳定性 | 第19-20页 |
| 2.3 SnO_2气体传感器气敏特性影响因素分析 | 第20-21页 |
| 2.3.1 工作温度的影响 | 第20页 |
| 2.3.2 气压的影响 | 第20-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 微热板气体传感器的制备 | 第22-30页 |
| 3.1 微热板气体传感器制作流程设计 | 第22页 |
| 3.2 微热板及其引线封装 | 第22-24页 |
| 3.3 气敏膜溅射 | 第24-25页 |
| 3.4 SnO_2薄膜的表征 | 第25-29页 |
| 3.4.1 SnO_2薄膜的X射线衍射(XRD)测试 | 第25-27页 |
| 3.4.2 SnO_2薄膜的X-射线能谱仪(EDS)测试 | 第27-28页 |
| 3.4.3 SnO_2薄膜的SEM测试 | 第28-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 4 微热板式气体传感器基本性能测试分析 | 第30-42页 |
| 4.1 微热板性能仿真及测试 | 第30-39页 |
| 4.1.1 微热板的功耗温度关系 | 第33-35页 |
| 4.1.2 微热板温度分布梯度 | 第35-36页 |
| 4.1.3 微热板的热响应时间 | 第36-37页 |
| 4.1.4 微热板形变及应力分布 | 第37-39页 |
| 4.2 气压对微热板加热电阻影响 | 第39-41页 |
| 4.2.1 实验系统搭建 | 第39-40页 |
| 4.2.2 实验结果分析 | 第40-41页 |
| 4.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 5 微热板式气体传感器气敏特性测试 | 第42-52页 |
| 5.1 微热板式气体传感器测试系统 | 第42-43页 |
| 5.2 微热板气体传感器气敏特性测试 | 第43-50页 |
| 5.2.1 R_a-工作温度曲线 | 第43-44页 |
| 5.2.2 响应时间和恢复时间 | 第44-46页 |
| 5.2.3 膜厚与灵敏度关系 | 第46-47页 |
| 5.2.4 灵敏度-工作温度曲线 | 第47-49页 |
| 5.2.5 灵敏度-气体浓度曲线 | 第49-50页 |
| 5.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |