| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题背景和研究意义 | 第9-11页 |
| 1.2 位移传感器校准系统的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 校准系统驱动技术研究现状 | 第15-19页 |
| 1.3.1 单级驱动的大行程高精度定位平台研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3.2 宏微驱动的大行程高精度定位平台研究现状 | 第18-19页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 电感位移传感器校准装置结构设计 | 第21-44页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 校准装置总体设计 | 第21-22页 |
| 2.3 宏动定位平台结构设计 | 第22-27页 |
| 2.3.1 直线电机的工作原理 | 第22-25页 |
| 2.3.2 宏动定位平台的动力学建模 | 第25-27页 |
| 2.4 微动定位平台结构设计 | 第27-32页 |
| 2.4.1 压电陶瓷的动态特性分析 | 第27-31页 |
| 2.4.2 微动定位平台的动力学建模 | 第31-32页 |
| 2.5 微动定位平台负载结构仿真 | 第32-35页 |
| 2.6 校准装置误差来源与分析 | 第35-43页 |
| 2.6.1 宏动定位平台误差 | 第36-39页 |
| 2.6.2 微动定位平台误差 | 第39页 |
| 2.6.3 激光干涉仪测量误差 | 第39-42页 |
| 2.6.4 电感位移传感器测头安装误差 | 第42-43页 |
| 2.7 本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 电感位移传感器校准装置控制策略研究 | 第44-54页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 微动跟随宏动的控制策略 | 第44-49页 |
| 3.2.1 微动跟随宏动的控制策略建模 | 第44-46页 |
| 3.2.2 微动跟随宏动的控制策略仿真 | 第46-49页 |
| 3.3 宏动跟随微动的控制策略 | 第49-52页 |
| 3.3.1 宏动跟随微动的控制策略建模 | 第49-50页 |
| 3.3.2 宏动跟随微动的控制策略仿真 | 第50-52页 |
| 3.4 宏微控制策略选择 | 第52-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 电感位移传感器校准装置实验与分析 | 第54-75页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 实验系统的设计 | 第54-58页 |
| 4.2.1 硬件系统的搭建 | 第54-55页 |
| 4.2.2 软件系统的设计 | 第55-58页 |
| 4.3 系统性能测试与实验分析 | 第58-67页 |
| 4.3.1 校准装置行程实验分析 | 第58-59页 |
| 4.3.2 校准装置分辨力实验分析 | 第59-61页 |
| 4.3.3 校准装置动态频响实验分析 | 第61-65页 |
| 4.3.4 校准装置重复性实验分析 | 第65-66页 |
| 4.3.5 校准装置线性度实验分析 | 第66-67页 |
| 4.4 校准装置的动静态校准实验 | 第67-72页 |
| 4.5 校准装置的测量不确定度评定 | 第72-74页 |
| 4.5.1 测量方法 | 第72页 |
| 4.5.2 测量模型 | 第72-73页 |
| 4.5.3 测量不确定度来源 | 第73页 |
| 4.5.4 标准不确定度评定 | 第73-74页 |
| 4.5.5 合成标准不确定度 | 第74页 |
| 4.5.6 扩展不确定度计算 | 第74页 |
| 4.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 致谢 | 第81页 |