| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 MEMS的技术概述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 纳/微机电系统(N/MEMS)的含义、主要特点及应用 | 第9-10页 |
| 1.1.2 MEMS制造技术概述 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS压力传感器 | 第11-13页 |
| 1.3 MEMS近距离传感器 | 第13-16页 |
| 1.4 MEMS近距离/压力双功能传感器 | 第16-18页 |
| 1.5 本论文研究的目的与意义 | 第18-19页 |
| 1.6 本论文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 柔性透明的MEMS近距离/压力双功能传感器理论研究 | 第20-33页 |
| 2.1 压电材料与压电特性理论基础 | 第20-23页 |
| 2.1.1 PZT压电材料 | 第20-21页 |
| 2.1.2 压电效应及压电材料分类 | 第21-23页 |
| 2.1.3 压电材料的介电性能 | 第23页 |
| 2.2 柔性透明MEMS近距离/压力双功能传感器的结构设计 | 第23-24页 |
| 2.3 柔性透明近距离/压力双功能MEMS传感器的工作原理及理论分析 | 第24-27页 |
| 2.3.1 工作原理 | 第24-25页 |
| 2.3.2 理论分析 | 第25-27页 |
| 2.4 PZT纳米线对近距离/压力传感器电容影响的有限元分析 | 第27-32页 |
| 2.4.1 单根PZT纳米线角度变化对传感器电容的影响 | 第28-29页 |
| 2.4.2 单根PZT纳米线位置对传感器电容的影响 | 第29-30页 |
| 2.4.3 PZT单晶纳米线数量对压力传感性能的影响 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 柔性透明近距离/压力双功能MEMS传感器制作工艺研究 | 第33-42页 |
| 3.1 单晶纳米线(PZT)的制备工艺 | 第33-36页 |
| 3.1.1 单晶纳米线(PZT)的制备 | 第33-35页 |
| 3.1.2 单晶纳米线(PZT)的表征测试 | 第35-36页 |
| 3.2 PDMS的制备 | 第36-38页 |
| 3.3 ITO(氧化铟锡)叉指状电极的制备 | 第38-39页 |
| 3.4 柔性透明的近距离/压力双功能MEMS传感器的制作 | 第39-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 柔性透明近距离/压力双功能MEMS传感器的性能研究 | 第42-47页 |
| 4.1 压力传感测试系统 | 第42-44页 |
| 4.2 近距离传感测试系统 | 第44-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 结论与展望 | 第47-49页 |
| 5.1 结论 | 第47-48页 |
| 5.2 展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 在学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
