磁控溅射镀膜机结构设计及动态特性分析
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-17页 |
| 1.1 课题背景 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-17页 |
| 1.2.1 国外真空镀膜设备研究 | 第13-14页 |
| 1.2.2 国内真空镀膜设备研究 | 第14页 |
| 1.2.3 有限元法理论基础 | 第14-15页 |
| 1.2.4 ANSYS软件简介 | 第15页 |
| 1.2.5 真空镀膜室的有限元分析 | 第15-17页 |
| 第二章 真空镀膜机结构设计 | 第17-33页 |
| 2.1 真空镀膜机的结构特点 | 第17-18页 |
| 2.1.1 真空镀膜机的结构分析 | 第17页 |
| 2.1.2 真空镀膜设备的设计概述 | 第17-18页 |
| 2.2 镀膜机关重件设计 | 第18-25页 |
| 2.2.1 零部件设计 | 第18页 |
| 2.2.2 镀膜室的材料选择 | 第18-20页 |
| 2.2.3 镀膜室真空室的设计 | 第20-21页 |
| 2.2.4 本课题镀膜机的优点 | 第21-23页 |
| 2.2.5 真空镀膜室门的设计 | 第23-24页 |
| 2.2.6 真空室炉顶平盖的设计 | 第24-25页 |
| 2.3 真空泵机组的选择 | 第25-30页 |
| 2.3.1 真空泵的选择 | 第25-26页 |
| 2.3.2 真空泵前级泵的选型 | 第26-28页 |
| 2.3.3 真空泵高真空挡板阀的选型 | 第28-29页 |
| 2.3.4 真空电机的选型 | 第29-30页 |
| 2.4 真空镀膜室的组装 | 第30-32页 |
| 2.4.1 真空镀膜室组装方法 | 第30-31页 |
| 2.4.2 高真空阀体的装配 | 第31页 |
| 2.4.3 三维模型的简化设计 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 真空室的结构强度分析 | 第33-46页 |
| 3.1 概述 | 第33页 |
| 3.2 材料和方法 | 第33-37页 |
| 3.2.1 参数及边界条件 | 第33-34页 |
| 3.2.2 单元类型选取 | 第34-35页 |
| 3.2.3 网格划分 | 第35-36页 |
| 3.2.4 施加载荷并求解 | 第36-37页 |
| 3.3 后处理 | 第37-41页 |
| 3.3.1 真空镀膜机应变分析 | 第37-40页 |
| 3.3.2 真空镀膜机的应力分析 | 第40-41页 |
| 3.4 真空室阀体的改进设计 | 第41-45页 |
| 3.4.1 增加壁厚的刚度加强设计 | 第41-43页 |
| 3.4.2 加装筋板的刚度加强设计 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 真空镀膜机的热结构耦合分析 | 第46-64页 |
| 4.1 概述 | 第46页 |
| 4.2 热-结构耦合概念 | 第46-47页 |
| 4.2.1 耦合场定义 | 第46-47页 |
| 4.2.2 耦合场的分析方法 | 第47页 |
| 4.3 ANSYS热-结构耦合分析前处理 | 第47-48页 |
| 4.3.1 单元网格划分 | 第47-48页 |
| 4.3.2 材料选取 | 第48页 |
| 4.4 ANSYS热分析 | 第48-54页 |
| 4.4.1 热分析理 | 第48-50页 |
| 4.4.2 ANSYS热分析及发热功率计算 | 第50-51页 |
| 4.4.3 计算设置以及结果分析 | 第51-53页 |
| 4.4.4 冷却装置的设计 | 第53-54页 |
| 4.5 ANSYS结构分析 | 第54-55页 |
| 4.6 真空室改进设计 | 第55-63页 |
| 4.6.1 炉顶平盖的改进设计 | 第56-59页 |
| 4.6.2 法兰的改进设计 | 第59-61页 |
| 4.6.3 筒体的改进设计 | 第61-63页 |
| 4.7 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 真空镀膜机模态分析 | 第64-68页 |
| 5.1 概述 | 第64页 |
| 5.2 模态分析简介 | 第64-66页 |
| 5.2.1 模态分析的作用 | 第64-65页 |
| 5.2.2 模态分析理论基础 | 第65页 |
| 5.2.3 模态分析方法 | 第65-66页 |
| 5.3 ANSYS模态分析概述 | 第66页 |
| 5.4 计算设置以及结果 | 第66-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 主要结论 | 第68页 |
| 6.2 研究展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 在学期间的研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
