| 摘要 | 第10-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 符号说明 | 第15-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-28页 |
| 1.1 引言 | 第16-17页 |
| 1.2 YZO薄膜的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3 YZO薄膜的性质 | 第18-26页 |
| 1.3.1 YZO薄膜的结构特性 | 第19-20页 |
| 1.3.2 YZO薄膜的光学特性 | 第20-25页 |
| 1.3.3 YZO薄膜的电学特性 | 第25-26页 |
| 1.4 YZO薄膜的应用前景 | 第26-27页 |
| 1.5 本论文的选题背景和研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 薄膜材料的制备及表征方法 | 第28-38页 |
| 2.1 薄膜的制备方法 | 第28-31页 |
| 2.1.1 溶胶-凝胶法 | 第28页 |
| 2.1.2 共沉淀法 | 第28-29页 |
| 2.1.3 电化学沉积法 | 第29页 |
| 2.1.4 射频磁控溅射法 | 第29-30页 |
| 2.1.5 真空蒸发镀膜法 | 第30-31页 |
| 2.2 YZO薄膜的制备 | 第31-32页 |
| 2.2.1 衬底的选择和清洗 | 第31页 |
| 2.2.2 YZO薄膜的制备 | 第31-32页 |
| 2.3 样品的表征方法及原理 | 第32-38页 |
| 2.3.1 薄膜的结构特性分析 | 第32-33页 |
| 2.3.2 薄膜的表面形貌分析 | 第33-35页 |
| 2.3.3 薄膜的光学特性分析 | 第35-36页 |
| 2.3.4 薄膜的电学特性分析 | 第36-38页 |
| 第3章 YZO透明导电薄膜的性质研究 | 第38-56页 |
| 3.1 厚度对YZO薄膜性质的影响 | 第38-44页 |
| 3.1.1 厚度对YZO薄膜结构特性的影响 | 第38-39页 |
| 3.1.2 厚度对YZO薄膜表面形貌的影响 | 第39-41页 |
| 3.1.3 厚度对YZO薄膜光学特性的影响 | 第41-43页 |
| 3.1.4 厚度对YZO薄膜电学特性的影响 | 第43-44页 |
| 3.2 溅射功率对YZO薄膜性质的影响 | 第44-49页 |
| 3.2.1 溅射功率对YZO薄膜结构特性的影响 | 第44-46页 |
| 3.2.2 溅射功率对YZO薄膜表面形貌的影响 | 第46-47页 |
| 3.2.3 溅射功率对YZO薄膜光学特性的影响 | 第47-48页 |
| 3.2.4 溅射功率对YZO薄膜电学特性的影响 | 第48-49页 |
| 3.3 不同溅射气压对YZO薄膜性质的影响 | 第49-55页 |
| 3.3.1 溅射气压对YZO薄膜结构特性的影响 | 第50-51页 |
| 3.3.2 溅射气压对YZO薄膜表面形貌的影响 | 第51-53页 |
| 3.3.3 溅射气压对YZO薄膜光学特性的影响 | 第53-54页 |
| 3.3.4 溅射气压对YZO薄膜电学特性的影响 | 第54-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 YIZO-TFT的制备与性能研究 | 第56-76页 |
| 4.1 YIZO-TFT的研究背景及现状 | 第56-57页 |
| 4.2 薄膜晶体管的工作原理 | 第57-62页 |
| 4.2.1 薄膜晶体管的基本结构 | 第57-59页 |
| 4.2.2 薄膜晶体管的工作原理 | 第59-60页 |
| 4.2.3 薄膜晶体管的重要参数 | 第60-62页 |
| 4.3 YIZO-TFT的制备 | 第62-65页 |
| 4.4 YIZO薄膜的结构和光学特性研究 | 第65-69页 |
| 4.4.1 YIZO薄膜的结构特性 | 第66页 |
| 4.4.2 YIZO薄膜的形貌 | 第66-68页 |
| 4.4.3 YIZO薄膜的光学特性 | 第68-69页 |
| 4.5 有源层厚度对YIZO-TFT电学性能的影响 | 第69-73页 |
| 4.6 本章小结 | 第73-76页 |
| 第5章 结论 | 第76-78页 |
| 5.1 YZO透明导电薄膜 | 第76-77页 |
| 5.2 YIZO薄膜及薄膜晶体管 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第86-87页 |
| 附件 | 第87页 |