| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-31页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第14-16页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第16-29页 |
| 1.2.1 单晶硅与硫化锌的机械加工研究 | 第16-21页 |
| 1.2.2 非球面的超精密磨削加工研究 | 第21-25页 |
| 1.2.3 磨削过程声发射在线监测技术研究 | 第25-29页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 红外非球面透镜的超精密磨削加工方法对比研究 | 第31-56页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 典型红外透镜的物理特性及几何结构 | 第31-33页 |
| 2.3 非球面磨削加工方法的种类及分析 | 第33-35页 |
| 2.4 金刚石砂轮型式的选择 | 第35-37页 |
| 2.5 垂直磨削法与平行磨削法对比分析 | 第37-55页 |
| 2.5.1 非球面的磨削几何学 | 第38-45页 |
| 2.5.2 砂轮的误差分析与补偿 | 第45-51页 |
| 2.5.3 非球面磨削加工的对比实验 | 第51-52页 |
| 2.5.4 磨削实验结果分析 | 第52-55页 |
| 2.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第3章 圆弧形金刚石砂轮的在位精密修整技术 | 第56-79页 |
| 3.1 引言 | 第56页 |
| 3.2 旋转磨棒端部在位精密修整砂轮方法的研究 | 第56-63页 |
| 3.2.1 旋转GC磨棒端部精密修整砂轮原理 | 第57-58页 |
| 3.2.2 旋转GC磨棒端部修整砂轮的误差分析 | 第58-60页 |
| 3.2.3 砂轮修整系统的搭建与实验 | 第60-62页 |
| 3.2.4 砂轮修整结果 | 第62-63页 |
| 3.3 旋转磨棒外圆柱面在位精密修整砂轮方法的研究 | 第63-77页 |
| 3.3.1 旋转GC磨棒外圆柱面精密修整砂轮原理 | 第63-65页 |
| 3.3.2 旋转GC磨棒外圆柱面修整砂轮的误差分析 | 第65-66页 |
| 3.3.3 砂轮圆弧的精度分析 | 第66-68页 |
| 3.3.4 圆弧形金刚石砂轮在位修整实验 | 第68-70页 |
| 3.3.5 圆弧形金刚石砂轮修整结果 | 第70-77页 |
| 3.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 第4章 非球面的磨削纹路抑制策略及加工工艺研究 | 第79-110页 |
| 4.1 引言 | 第79页 |
| 4.2 磨削纹路研究 | 第79-91页 |
| 4.2.1 磨削点分布方程 | 第79-81页 |
| 4.2.2 磨削点分布仿真 | 第81-83页 |
| 4.2.3 磨削纹路对工件表面质量的影响 | 第83-89页 |
| 4.2.4 磨削纹路抑制策略 | 第89-91页 |
| 4.3 砂轮性能参数对磨削加工表面质量的影响分析 | 第91-95页 |
| 4.3.1 砂轮粒度对表面质量的影响 | 第92-94页 |
| 4.3.2 砂轮浓度对表面质量的影响 | 第94-95页 |
| 4.3.3 砂轮截面圆弧半径对表面质量的影响分析 | 第95页 |
| 4.4 单晶硅粗磨加工实验研究 | 第95-99页 |
| 4.4.1 非球面磨削加工材料去除率 | 第95-96页 |
| 4.4.2 粗磨加工去除实验设计 | 第96-97页 |
| 4.4.3 表面质量分析 | 第97-99页 |
| 4.5 超精密磨削非球面工艺实验研究 | 第99-102页 |
| 4.5.1 正交实验设计 | 第99-100页 |
| 4.5.2 实验条件 | 第100页 |
| 4.5.3 实验结果及数据分析 | 第100-102页 |
| 4.6 大尺寸非球面透镜超精密磨削加工 | 第102-109页 |
| 4.7 本章小结 | 第109-110页 |
| 第5章 修整及磨削过程的声发射在线监测技术研究 | 第110-127页 |
| 5.1 引言 | 第110页 |
| 5.2 声发射信号在线监测技术方案 | 第110-112页 |
| 5.3 砂轮修整过程的声发射在线监测技术研究 | 第112-118页 |
| 5.3.1 旋转GC磨棒端部修整过程的声发射在线监测 | 第112-115页 |
| 5.3.2 旋转GC磨棒外圆柱面修整过程的声发射在线监测 | 第115-118页 |
| 5.4 磨削加工过程的声发射在线监测技术研究 | 第118-126页 |
| 5.4.1 粗磨加工过程的声发射在线监测 | 第118-122页 |
| 5.4.2 精磨加工过程的声发射在线监测 | 第122-126页 |
| 5.5 本章小结 | 第126-127页 |
| 结论 | 第127-130页 |
| 参考文献 | 第130-139页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第139-141页 |
| 致谢 | 第141-142页 |
| 个人简历 | 第142页 |
